3inch 4inch 6Inch 900 terrain communal de la couche mince Y-42° de LT LN de nanomètre

Les films LiTaO3 minces ont été préparés par le revêtement de rotation de la solution sol-gel polymérisée de précurseur. Des films ont été déposés sur le substrat de silicium de monocristal, Ti/Pt ou SiO2 a enduit le substrat de silicium. Des films ont été caractérisés par les mesures de diffraction des rayons X, diélectriques et pyroelectric. La température de curie élevée (au-dessus du °C) 550 a été supposé pour les couches LiTaO3 minces de la dépendance de la température de la constante diélectrique. Le remplacement de 35% de tantale par les atomes titaniques dans la solution du précurseur LiTaO3 a résulté les couches minces avec la température de curie de 330 °C. La température plus basse de curie mène au coefficient pyroelectric plus grand à la température ambiante, qui est plus que le double cela des couches LiTaO3 minces non dopées. Le diélectrique, les pyroelectric, et les propriétés ferroélectriques ont été comparés au monocristal LiTaO3 et Li0.91Ta0.73Ti0.36O3 en céramique. Les couches LiTaO3 minces sont disponibles par le processus sol-gel à la basse température, et leurs propriétés peuvent probablement être commandées en variant la composition de la solution sol-gel de précurseur.