Équipement de microjet laser à impulsion de haute énergie
L'équipement laser microjet est une sorte de système d'usinage de précision qui combine un laser à haute énergie et un jet liquide à l'échelle micronique, principalement utilisé dans les domaines de fabrication haut de gamme tels que les semi-conducteurs,Optoélectronique et médicaleLe principe de base est d'atteindre une précision d'usinage sous micron (jusqu'à 0.5 μm) et zone touchée par la chaleur proche de zéro (HAZ<1 μm) en couplant la lumière laser pulsée (comme la lumière ultraviolette ou verte) à un jet liquide à grande vitesse (généralement de l'eau désionisée ou un liquide inerte), en profitant des fonctions de guidage, de refroidissement et d'élimination des débris du liquide.
Équipement laser à microjet
Équipement à microjet laser
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