La technologie de gravure à l'eau de Vertical est prête pour la production de masse de micro-LED rouges AlGaInP
La société américaine de R&D Vertical a annoncé que sa technologie de gravure à l'humidité est maintenant prête pour la production en série de micro-LED rouges AlGaInP.Un obstacle majeur à la commercialisation des écrans micro-LED haute résolution est la réduction de la taille des puces LED tout en maintenant l'efficacité, les micro-LED rouges étant particulièrement sensibles aux baisses d'efficacité par rapport à leurs homologues bleus et verts.
La principale cause de cette diminution de l'efficacité réside dans les défauts des parois latérales créés lors de la gravure à sec à base de plasma.Les efforts ont donc été largement axés sur l'atténuation des dommages par des techniques de post-écorchage à sec telles que le traitement chimique.Cependant, ces méthodes n'offrent qu'une récupération partielle et sont moins efficaces pour les minuscules puces requises pour les écrans haute résolution.où les défauts de paroi latérale peuvent pénétrer profondément dans la puce, dépassant parfois sa taille.
Pour cette raison, la recherche de méthodes de gravure "sans défaut" est en cours depuis des années.mais ses caractéristiques isotropes peuvent entraîner une sous-cotation indésirable, ce qui le rend impropre à la gravure de petites puces comme les micro-LED.
Cependant, Vertical, une entreprise basée à San Francisco spécialisée dans les technologies LED et d'affichage, a récemment fait une percée significative.La société a développé un procédé de gravure chimique humide sans défaut pour les micro-LED rouges AlGaInP, spécifiquement axée sur les défis de la gravure sur planche.
Le PDG Mike Yoo a déclaré que Vertical est prêt à mettre à l'échelle cette technologie de gravure humide pour la production de masse,accélération de l'adoption commerciale des écrans micro-LED pour des applications allant des grands écrans aux écrans à vue directe.
Comparer les défauts des parois latérales dans les gravures humides et sèches
Pour mieux comprendre l'impact des défauts des parois latérales, Vertical a comparé les micro-LED rouges AlGaInP gravés humides et secs à l'aide d'une analyse de cathodoluminescence (CL).un faisceau d'électrons génère des paires de trous électroniques à l'intérieur de la surface de la micro-LED, et la recombinaison radiative dans le cristal non endommagé produit des images d'émission lumineuses.
Les images et les spectres CL révèlent un contraste frappant entre les deux méthodes de gravure.avec une surface d'émission plus de trois fois supérieure à celle des LED à séchage, selon Mike Yoo.
Notamment, la profondeur de pénétration des défauts des parois latérales pour les micro-LED gravés à sec est d'environ 7 μm, tandis que la profondeur pour les micro-LED gravés à l'humidité est presque inexistante, mesurant moins de 0,2 μm.,Les résultats de CL suggèrent qu'il y a peu, voire pas, de micro-LEDs de couleur rouge qui sont utilisés pour les LEDs de couleur rouge.défauts de paroi latérale présents dans les micro-LED rouges AlGaInP gravés à l'humidité.
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