C'est quoi une bague de focalisation au quartz?

             
Un anneau de mise au point au quartz est un composant consommable essentiel dans les procédés de gravure au plasma à semi-conducteurs.Il est généralement constitué de quartz fondu de haute pureté et joue un rôle indispensable dans la fabrication de pucesSa fonction principale est de confiner et de guider le plasma afin d'assurer des performances de gravure très uniformes sur la surface de la gaufre.

 

Fonctions de base:
Pourquoi est-il indispensable dans les procédés de gravure?

Lors de la gravure au plasma, les anneaux de focalisation au quartz remplissent principalement les tâches clés suivantes:

• Plasmas de mise au point pour la gravure uniformeEn optimisant le champ électrique autour de la périphérie de la plaque, il permet de maintenir le plasma stable et uniforme.il élimine l'"effet de bordure" et assure des taux de gravure et des dimensions critiques (CD) très cohérents sur toute la surface de la gaufre.
   
• Protéger les équipements de grande valeur et prolonger la durée de vie des composants: L'anneau de mise au point agit comme un bouclier de protection consommable qui supporte le bombardement direct de plasma, protégeant les composants de précision sous-jacents du noyau tels que le tambour électrostatique (ESC) des dommages.
   
• Prévention de la contamination et préservation du rendement des plaquettes: Le quartz lui-même ne contient pas d'impuretés nocives telles que les métaux et libère lentement de l'oxygène sous exposition au plasma.Cet oxygène réagit avec les polymères générés lors de la gravure pour former des gaz facilement pompables comme le CO et le CO2, empêchant ainsi efficacement la contamination de l'arrière de la galette.

       
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Pourquoi le quartz?

      Il existe plusieurs options de matériaux pour les anneaux de mise au point, mais le quartz se distingue par sa combinaison unique de propriétés:

• Ultra-haute pureté: Le quartz de qualité semi-conducteur atteint généralement une pureté de 99,998% ou plus, réduisant au minimum la contamination par les impuretés métalliques des plaquettes.
• Résistance à la corrosion chimique supérieure: Le quartz résiste à l'érosion par des gaz de gravure hautement corrosifs (tels que CF4, SF6 et Cl2) et aux attaques au plasma.
• Excellente stabilité thermique: Le quartz peut résister à des températures supérieures à 1000°C et a un coefficient de dilatation thermique extrêmement faible, assurant une stabilité dimensionnelle précise tout au long des procédés à haute température.
• Propriétés diélectriques favorables: Sa constante diélectrique (environ 3,8) permet de réaliser la mise au point au plasma souhaitée.

Fabrication et marché:
Machinerie de précision et approvisionnement mondial

• Machinerie de précision: La production d'anneaux de mise au point au quartz impose des exigences de précision extrêmement élevées, nécessitant des technologies avancées d'usinage et de polissage CNC à 5 axes.Les tolérances dimensionnelles clés peuvent être contrôlées à ±00,02 mm ou même ±0,001 mm, avec une rugosité de surface (Ra) inférieure à 0,002 μm.
• Principaux fabricants: Les principaux acteurs du marché mondial sont des leaders internationaux tels que Entegris, CoorsTek, Heraeus Quartz et Tosoh Quartz, ainsi que des entreprises chinoises telles que Dunyuan Juxin,Zhenbao Technology et Jingge SemiconductorLes produits sont généralement compatibles avec les plateformes de gravure traditionnelles de matériaux appliqués (AMAT), telles que les séries MXP+ et Centura.