| Nom De Marque: | zmsh |
| Numéro De Modèle: | 6inch-001 |
| MOQ: | 1pcs |
| Prix: | by case by FOB |
| Délai De Livraison: | dans 40days |
de 4inch 6Inch 4H-N 500mm 350um SIC de gaufrette de silicium de carbure catégorie factice principale de substrat sic
gaufrette du substrat 350um de 6inch 4H-N 500mm sic pour le dispositif de poudre
| 6 po. de diamètre, spécifications de substrat de carbure de silicium (sic) | ||||||||
| Catégorie | Catégorie zéro de MPD | Catégorie de production | Catégorie de recherches | Catégorie factice | ||||
| Diamètre | 150,0 mm±0.2mm | |||||||
| ThicknessΔ | 350 μm±25μm ou 500±25un | |||||||
| Orientation de gaufrette | Outre de l'axe : 4.0° vers< 1120=""> ±0.5° pour l'axe de 4 H-N On : <0001> ±0.5° pour 6H-SI/4H-SI | |||||||
| Appartement primaire | {10-10} ±5.0° | |||||||
| Longueur plate primaire | 47,5 mm±2.5 millimètre | |||||||
| Exclusion de bord | 3 millimètres | |||||||
| TTV/Bow /Warp | ≤15μm/≤40μm/≤60μm | |||||||
| Densité de Micropipe | cm2 ≤1 | cm2 ≤5 | cm2 ≤15 | cm2 ≤100 | ||||
| Résistivité | 4H-N | 0.015~0.028 Ω·cm | ||||||
| 4/6H-SI | ≥1E5 Ω·cm | |||||||
| Rugosité | Ra≤1 polonais nanomètre | |||||||
| CMP Ra≤0.5 nanomètre | ||||||||
| Fissures par la lumière de forte intensité | Aucun | 1 laissé, ≤2 millimètre | ≤ cumulatif 10mm, length≤2mm simple de longueur | |||||
| Plats de sortilège par la lumière de forte intensité | Secteur cumulatif ≤1% | Secteur cumulatif ≤2% | Secteur cumulatif ≤5% | |||||
| Régions de Polytype par la lumière de forte intensité | Aucun | Area≤2% cumulatif | Area≤5% cumulatif | |||||
| Éraflures par la lumière de forte intensité | 3 éraflures à la longueur cumulative du diamètre 1×wafer | 5 éraflures à la longueur cumulative du diamètre 1×wafer | 5 éraflures à la longueur cumulative du diamètre 1×wafer | |||||
| Puce de bord | Aucun | 3 laissés, ≤0.5 millimètre chacun | 5 laissés, ≤1 millimètre chacun | |||||
| Contamination par la lumière de forte intensité | Aucun | |||||||