Machine carrée monocristalline au silicium à double station 6/8/12 pouces à fente ≤ 0,5 mm haute précision ± 0,05 mm

Machine carrée monocristalline au silicium à double station 6/8/12 pouces à fente ≤ 0,5 mm haute précision ± 0,05 mm

Dans le domaine du traitement des matériaux semi-conducteurs, monocrystalline silicon two-root vertical open-mechanism island building is a highly specialized integrated production unit dedicated to precisely cutting cylindrical monocrystalline silicon rods (Ingot) into square or rectangular silicon blocks (Grit or Brick) in preparation for subsequent slicing (such as making silicon wafers)L'équipement de base est une machine de découpe verticale à deux racines, et l'"îlot de fabrication" fait référence au système de traitement automatique et intelligent construit autour de l'équipement.

Fonction de base

· Objets de traitement: tiges de silicium monocristallin (généralement de 6 à 12 pouces, longueur de 1 à 2 mètres).

· tâche principale:Coupe verticale des quatre côtés d'une tige de silicium cylindrique avec une lame de double scie pour former un bloc de silicium carré/rectangulaire de haute précision (en conservant le noyau et en réduisant les déchets de matériaux).

· Indicateurs clés: précision de coupe (±0,05 mm), planéité de surface (Ra≤0,5 μm), contrôle de la rupture des bords (≤50 μm).

Spécifications techniques

Paramètres techniques

Tableau d'indice de précision d'usinage

Avantage de conception

Performance stable:
1. coupe verticale, dispositif d'auto­positionnement des tiges en silicium;
2. tête de coupe roue de coupe axe boîte trou de traitement intégré, haute précision, propice à la coupe;
3- alimentation et positionnement du robot, performances fiables et stables, faible coût de maintenance;

Capacité de 4 tonnes (barre carrée):
1Vitesse de coupe élevée: ≥ 40 mm/min.
2. Couper deux tiges de silicium simultanément;
3Temps de chargement et de déchargement ≤ 3 min.

Faible coût:
1Un robot peut être configuré avec 2 hôtes, qui peuvent être formés en une unité d'îlot de fabrication rectangulaire, avec une configuration flexible et un faible coût d'une seule machine;
2L'automatisation des ateliers peut utiliser une structure de transport par voie terrestre, un faible coût d'automatisation.

Haute précision:
1. la portée de la racine ≤ 0,2 mm;
2La précision de chargement et de déchargement du robot est élevée, la précision de positionnement répétée de ± 0,05 mm.

Avantage technologique et tendance de développement

Les avantages techniques:

Utilisation élevée des matériaux: en optimisant le chemin de coupe, le taux de rétention des blocs de silicium peut atteindre plus de 85% (les méthodes traditionnelles ne sont que de 70% à 75%).

Traitement à faible dégradation: la technologie de scie au fil de diamant réduit les fissures microscopiques et améliore le rendement des tranches ultérieures.

Production intelligente: prise en charge de l'exploitation sans pilote, seulement 1 à 2 personnes par poste de surveillance.

Tendance à l'évolution

Technologie de coupe en plusieurs lignes: coupe avec plusieurs lignes de diamants en même temps pour améliorer l'efficacité.

Jumeau numérique: Optimiser les paramètres de coupe grâce à une simulation virtuelle.

Fabrication verte: technologie de recyclage de la poudre de silicium.