Électeurs de saphir Barres de saphir Fabrication de précision Applications industrielles Manipulation des gaufres

Électeurs de saphir Barres de saphir Fabrication de précision Applications industrielles Manipulation des gaufres

ZMSH est spécialisée dans la production de broches élévatrices en saphir, en mettant l'accent sur la R&D, la fabrication et la vente de matériaux en cristal de saphir.Les épingles en saphir sont réputées pour leur résistance exceptionnelle.Ils ont une dureté élevée, une résistance à la corrosion et des propriétés optiques supérieures, ce qui les rend idéales pour la fabrication d'équipements haut de gamme et les applications d'usinage de précision.ZMSH offre des services de traitement sur mesure, capable de concevoir et de produire des épingles de levage en saphir de différentes spécifications pour répondre à diverses exigences industrielles.

Spécification technique

Fonctions de based'une épaisseur n'excédant pas 1 mm

Les broches élévatrices en saphir sont des composants essentiels des équipements de fabrication de semi-conducteurs et de LED, principalement utilisés pour le transfert et le positionnement des plaquettes.

1. Soutien de la gaufre et mouvement vertical

Dans les procédés de dépôt de film mince (par exemple, MOCVD), de gravure ou de lithographie, les bras robotiques actionnent des broches élévatrices en saphir pour s'élever du sol de la chambre, soutenant précisément les plaquettes (par exemple,2/4/6 pouces de substrat) tout en maintenant un positionnement à niveau pour faciliter les opérations de chargement et de déchargement.

2. Performance stable dans des environnements à haute température

Le saphir (Al2O3 monocristallin) possède un point de fusion extrêmement élevé de 2050°C, ce qui permet un fonctionnement prolongé au-dessus de 1000°C (par exemple,La valeur de l'échantillon est calculée en fonction de la fréquence d'écoulement de l'échantillon..

3. Inertitude chimique pour l'intégrité du processus

Avec une résistance exceptionnelle aux acides, aux alcalis et aux environnements plasmatiques, le saphir empêche la libération d'impuretés pendant les processus de gravure ou de CVD,assurer la pureté de fabrication (particulièrement critique pour les semi-conducteurs à large bande comme le SiC/GaN).

Principaux avantages
 

1Contamination extrêmement faible: par rapport aux alternatives métalliques (par exemple, le molybdène) ou céramiques (par exemple, l'AlN), le saphir génère un déversement minimal de particules, répondant aux normes de salle blanche de classe 10.

2Dureté exceptionnelle (Mohs 9): la résistance aux rayures de surface prolonge la durée de vie au-delà de 100 000 cycles, soit 5 à 8 fois plus que les broches de quartz.

3Coefficient d'expansion thermique correspondant: l'alignement étroit avec les wafers SiC/GaN (~ 7,5×10−6/°C) minimise la déformation ou la fissuration induite par le stress thermique.

Applications typiquesd'une épaisseur n'excédant pas 1 mm

1. Production de gaufres épitaxielles LED: soutient les substrats de saphir pendant la croissance épitaxielle de GaN dans les réacteurs MOCVD.

2. Fabrication de semi-conducteurs de puissance: permet l'implantation d'ions à haute température ou des processus de recuit pour les plaquettes SiC.

3Emballage avancé: assure un positionnement précis au niveau du micron pour les wafers ultra-minces (épaisseur < 100 μm) dans des emballages au niveau des wafers (WLP).

Produits connexes

ZMSH est spécialisée dans les tiges de saphir de haute qualité, conçues pour une résistance supérieure, une stabilité thermique et une résistance à la corrosion.Nous offrons une usinage de précision pour répondre aux spécifications exactes.