Détails sur le produit:
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Diamètre: | 2 pouces (50,8 mm) | Plage d'épaisseur: | 0.1 mm à 1.0 mm |
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Pureté des matériaux: | ≥99.99% | Roughness de surface (Ra): | ≤5nm |
Variation de l'épaisseur totale: | ≤10μm | Transmission (@193nm): | > 90% |
Mettre en évidence: | Plaquette de quartz de 2 pouces de haute pureté,Plaquette de quartz de silice fondue de 2 pouces |
Le wafer de quartz de 2 pouces est un matériau de substrat haute performance fabriqué à partir de quartz synthétique de haute pureté (silice fondue), offrant une excellente transparence optique, un coefficient de dilatation thermique extrêmement faible et une stabilité chimique exceptionnelle. Le wafer de quartz de 2 pouces est largement utilisé dans des applications haut de gamme telles que la fabrication de semi-conducteurs, l'optoélectronique, les MEMS/NEMS et l'optique scientifique, servant de matériau de base essentiel pour les composants optiques de précision et les dispositifs microélectroniques.
ZMSH est spécialisé dans la R&D, la production et la personnalisation de wafers de quartz de haute précision. Nous fournissons des solutions sur mesure pour répondre aux exigences des clients en matière de diverses spécifications (par exemple, diamètre, épaisseur, traitement de surface) en utilisant des techniques de traitement avancées telles que le polissage de précision, la découpe laser et le revêtement. Nos produits garantissent une précision dimensionnelle exceptionnelle (TTV ≤10μm) et une qualité de surface (Ra ≤5nm). De plus, nous proposons un prototypage rapide pour les petites séries et la production de masse à grande échelle afin de soutenir les clients tout au long du cycle de développement à la production.
Les wafers de quartz de ZMSH sont strictement conformes aux normes de l'industrie et conviennent aux environnements industriels difficiles (par exemple, températures élevées, conditions hautement corrosives). Ils peuvent également être personnalisés avec des revêtements optiques tels que l'anti-reflet (AR) ou l'amélioration infrarouge (IR) pour répondre aux besoins spécifiques des applications. En tirant parti d'une technologie de production mature et d'un système de contrôle qualité rigoureux, nous nous engageons à fournir aux clients du monde entier des solutions en verre de quartz haute performance et hautement fiables.
Paramètre | Spécification |
Diamètre | 2 pouces (50,8 mm) |
Plage d'épaisseur | 0,1 mm ~ 1,0 mm |
Pureté du matériau | ≥99,99% |
Rugosité de surface (Ra) | ≤5nm |
Variation totale d'épaisseur | ≤10μm |
Transmission (@193nm) | >90% |
Coefficient de dilatation thermique | ~0,55×10⁻⁶/°C |
Point de ramollissement | ~1665°C |
1. Matériau de haute pureté: Fabriqué à partir de quartz synthétique (silice fondue) avec une pureté ≥99,99 %, garantissant une stabilité optique et chimique supérieure.
2. Excellente stabilité thermique: Faible coefficient de dilatation thermique (~0,55×10⁻⁶/°C) et résistance aux hautes températures (point de ramollissement ~1665°C), adapté aux processus à haute température.
3. Haute transmission optique: Transmission de la lumière supérieure (>90 %) sur les longueurs d'onde UV à IR (190nm–3500nm).
4. Planéité exceptionnelle: Faible rugosité de surface (Ra ≤5nm) et faible variation totale d'épaisseur (TTV ≤10μm), répondant aux exigences de la lithographie de précision et des applications de revêtement.
5. Inertie chimique: Résistant aux acides forts (sauf HF), aux alcalis et aux solvants organiques, ce qui le rend idéal pour les environnements chimiques agressifs.
Le wafer de quartz de 2 pouces est largement utilisé dans les domaines technologiques de pointe en raison de sa grande pureté, de sa stabilité thermique et de ses performances optiques. Les principales applications comprennent :
· Substrats de photomasque: Utilisés comme matériaux de base pour les photomasques dans le transfert de motifs IC, nécessitant une planéité ultra-élevée et de faibles taux de défauts.
· Supports de processus de gravure: Servent de plateaux pour la manipulation des wafers dans les processus de gravure sèche et humide, offrant une résistance à la corrosion sans affecter la stabilité du processus.
· Tampons CMP: Appliqués dans la planarisation des wafers pour assurer un polissage uniforme et minimiser les dommages de surface.
· Boucliers d'implantation ionique: Agissent comme des couches barrières dans les processus de dopage, résistant aux températures élevées sans interférer avec la pénétration du faisceau d'ions.
· Filtres et fenêtres optiques: Utilisés dans les systèmes optiques UV, visibles et IR, tels que les fenêtres de protection laser et les composants de spectromètre.
· Composants de fibre optique: Servent de connecteurs d'extrémité et de substrats WDM, assurant une faible perte optique et une grande efficacité de transmission du signal.
· Optique laser haute puissance: Utilisés dans les lasers CO₂ et les systèmes laser femtoseconde comme miroirs et lentilles, offrant une résistance aux hautes températures et une tolérance aux dommages laser.
· Substrats de microsenseurs: Utilisés dans les capteurs de pression et les accéléromètres, offrant une résistance mécanique élevée et une stabilité thermique.
· Puces microfluidiques: Employés dans la détection biomédicale comme structures de microcanaux, avec une inertie chimique empêchant la contamination des échantillons.
· Modèles de nano-impression: Permettent la réplication de motifs de haute précision à l'échelle nanométrique.
ZMSH propose des services d'usinage personnalisés pour les plaques de quartz avec des trous traversants de précision, répondant aux applications dans l'optique, l'emballage de semi-conducteurs et les capteurs. Nos produits se caractérisent par un perçage de haute précision, une découpe de forme personnalisée et un traitement de surface, garantissant des tolérances dimensionnelles de ±0,01 mm. ZMSH fournit un prototypage rapide et une production de masse pour répondre aux exigences strictes de diverses applications.
1. Q : À quoi sert un wafer de quartz de 2 pouces ?
R : Les wafers de quartz de 2 pouces sont principalement utilisés comme substrats pour les photomasques de semi-conducteurs, les composants optiques et les dispositifs MEMS en raison de leur grande stabilité thermique et de leur transparence aux UV.
2. Q : Comment nettoyer les wafers de quartz de 2 pouces ?
R : Nettoyez les wafers de quartz de 2 pouces avec un nettoyage standard RCA (SC-1/SC-2) ou une solution Piranha, suivi d'un rinçage à l'eau DI et d'un séchage à l'azote pour des surfaces sans contamination.
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