Wafer de silice fondu de haute pureté à base de quartz de 3 pouces diamètre JGS1/JGS2

Substrat de quartz de 3 pouces, plaquette de silice fondue de haute pureté, diamètre 76,2 mm, JGS1/JGS2

​La plaquette de quartz de 3 pouces (76,2 mm) est un substrat de silice fondue de haute pureté, de grand format, spécialement conçu pour les applications avancées dans les domaines des semi-conducteurs, de l'optoélectronique et de l'optique de précision, nécessitant de plus grandes surfaces de traitement. Comparée aux plaquettes de 2 pouces, la spécification de 3 pouces améliore l'efficacité de la production et réduit les pertes en bordure, ce qui la rend particulièrement adaptée aux dispositifs MEMS fabriqués en série, aux photomasques avancés et aux systèmes optiques laser.

ZMSH est spécialisé dans la production personnalisée de plaquettes de quartz de grande taille, offrant :

· Couverture complète des tailles : Des plaquettes de 2 pouces à 12 pouces, supportant la personnalisation de tailles non standard

· Traitement de formes complexes : Plaquettes rondes, plaques carrées et découpes de formes spéciales (par exemple, en forme de secteur, en forme de D)

· Traitement de surface multifonctionnel : Polissage simple/double face, revêtements (AR/IR/DLC), gravure de microstructures

· Solutions industrielles : Propreté de qualité semi-conducteur (Classe 100), perçage laser, repères d'alignement de haute précision

Spécifications pour plaquette de quartz de 3 pouces

​​Caractéristiques clés​​ de plaquette de quartz de 3 pouces

- Homogénéité de grande taille: TTV≤15μm à un diamètre de 76,2 mm assure l'uniformité du processus sur de grandes surfaces

- Optimisation UV profond: >92 % de transmission à 193 nm, supportant la lithographie ArF et les applications laser DUV

- Résistance aux chocs thermiques: Coefficient de dilatation thermique 0,55×10⁻⁶/°C, résiste aux cycles thermiques rapides (1000°C/min)

- Inertie de qualité chimique: Résistant à l'érosion par le plasma, adapté aux environnements de gravure à sec et de CMP

- Renforcement mécanique: Le renforcement chimique optionnel augmente la résistance à la flexion de 300 % à 500 MPa

​​Applications principales​​ de plaquette de quartz de 3 pouces

Solutions personnalisées de prismes en quartz

ZMSH fournit des services de personnalisation de prismes en quartz pour les longueurs d'onde UV à IR, y compris les prismes à angle droit, les pentaprismes et les prismes séparateurs de faisceau, avec :

· Précision de surface au niveau nanométrique (λ/10@632.8nm)

· Revêtements spéciaux (revêtements résistants aux dommages laser, revêtements séparateurs de faisceau polarisant)

· Traitement intégré (structures hybrides prisme-plaquette, conceptions de refroidissement par microcanaux)

Idéal pour les applications de pointe dans la mise en forme de faisceaux laser, l'analyse spectrale et les expériences de physique des hautes énergies.FAQ