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Transmittance des plaquettes de quartz de qualité optique de 3 pouces > 92% Substrats de verre semi-conducteurs
ZMSH est spécialisée dans la fabrication sur mesure de plaquettes de quartz de 3 pouces, offrant des solutions sur mesure pour les applications optoélectroniques, MEMS et semi-conducteurs avancées. Contrairement aux plaquettes standard de 2 pouces, les plaquettes de quartz de 3 pouces offrent une surface élargie pour l'intégration de plusieurs composants, permettant des appareils de haute précision avec des performances améliorées. Les principales caractéristiques sont les suivantes: Je suis désolée.
· Matériau : Silice fusionnée de haute pureté (SiO2) avec une teneur en hydroxyles de < 50 ppm, assurant une perte optique ultra-faible.
· Dimensions: diamètres et épaisseurs personnalisés (3,00" ±0,02") (0,5251,200 mm, TTV ≤10 μm). Je suis désolée.
· Formes: Géométries circulaires, carrées ou irrégulières avec ouvertures non standard, bords en degrés ou épaisseur de gradient. Je suis désolée.
· Finition de surface: surfaces ultra-lisses (Ra ≤ 1,0 nm) pour une dispersion minimale de la lumière.
Spécification pourUne galette de quartz de 3 pouces.
| PAramètre |
Spécification |
| Diamètre |
3 pouces (76,2 mm) |
| Tolérance à l'épaisseur |
± 0,02 mm |
| Roughness de la surface |
≤ 1 nm (de qualité polissée) |
| Transmittance @193 nm |
> 92% |
| ÉTC (RT-300°C) |
00,55 × 10−6/°C |
| Le parallélisme |
≤ 5 μm |
| Compatibilité sous vide |
10−9 Torr |
Caractéristiques principales deUne galette de quartz de 3 pouces.
1. Supériorité optique
- Transmission spectrale large: > 92% de transmission de 185 nm (UV) à 3500 nm (IR), idéale pour la lithographie UV et la détection quantique.
- Faible expansion thermique: CTE de 0,52 × 10−6/°C, maintenant la stabilité dimensionnelle jusqu'à 1100°C.
2Résistance mécanique et chimique
- Haute dureté: échelle de Mohs 7, résistant à l'abrasion et aux chocs mécaniques.
- Résistance aux acides: durabilité 30 fois supérieure à celle de la céramique, adaptée à des environnements chimiques agressifs.
3Performance électrique
- Isolation: résistance > 1018 Ω·cm, réduisant la capacité parasitaire dans les circuits à haute fréquence.
- Compatibilité SAW: optimisé pour les filtres à ondes acoustiques de surface (SAW) avec des angles de coupe précis (par exemple, 34,33° pour la coupe FC).
Je suis désolée.Applications stratégiques deUne galette de quartz de 3 pouces.
1. les appareils MEMS avancés
Des capteurs de pression, des gyroscopes et des têtes d'impression à jet d'encre utilisant des plaquettes de 3 pouces pour une intégration multicouches et une stabilité thermique.
2Systèmes optoélectroniques
- les diodes laser UV, les collimateurs à fibre optique et les composants LiDAR nécessitant des voies optiques à faible perte.
3. Emballage des semi-conducteurs
- des substrats d'emballage au niveau des plaquettes (WLP) pour les capteurs d'image CMOS et les RFIC, prenant en charge la technologie TSV (Through-Silicon Via).
4Les technologies quantiques.
- Substrats pour les centres à vide d'azote en diamant (NV) et les qubits supraconducteurs, bénéficiant d'une très faible densité de défaut.
Les tubes capillaires au quartz: bref aperçu
Les capillaires de quartz de ZMSH sont conçus pour des applications microfluidiques et optiques, avec:
- Tailles personnalisées:"Système de détection de la pollution atmosphérique" (1) Je suis désolée.
- Ultra-haute pureté:< 1 ppm d'impuretés métalliques pour la biocompatibilité dans les systèmes de laboratoire sur puce. Je suis désolée.
- Traitement:Perçage laser, formage thermique et gravure chimique pour une intégration transparente dans les capteurs ou les fibres optiques.
Questions fréquentes
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