Plaquette de quartz de 4 pouces, diamètre 100 mm, plaquette de silice fondue pour la fabrication de semi-conducteurs
La plaquette de quartz de 4 pouces (100 mm) est un substrat de silice fondue de grande taille et de très haute pureté, conçu pour des applications de haute précision et de haute stabilité dans les semi-conducteurs, l'optoélectronique et l'optique de pointe. Par rapport aux plaquettes de 3 pouces, la spécification de 4 pouces offre une surface utilisable considérablement plus grande, améliorant l'efficacité de la production, en particulier pour la fabrication en série de photomasques de circuits intégrés, d'optiques laser haute puissance et de capteurs MEMS.
ZMSH est spécialisé dans la R&D et la production de plaquettes de quartz de 4 pouces et plus, offrant :
- Personnalisation complète: Prend en charge les plaquettes de 4 pouces, 6 pouces et 8 pouces, avec des tailles non standard (par exemple, carrées, en forme de secteur) disponibles.
- Traitement de haute précision: Inclut le polissage ultra-fin double face (Ra≤0,5 nm), la découpe laser (tolérance de ±0,01 mm) et le perçage de micro-trous/de vias de forme spéciale.
- Traitements fonctionnels: Revêtements antireflet (AR), antireflet IR, revêtements de type diamant (DLC), etc.
- Solutions de qualité industrielle: Propreté de niveau semi-conducteur (classe 10), faible densité de défauts (≤0,1/cm²), idéal pour la lithographie EUV et l'informatique quantique.
Spécification pour plaquette de quartz de 4 pouces
| Terme technique |
Spécification |
| Diamètre |
4 pouces (100 mm) |
| Plage d'épaisseur |
0,5 mm ~ 1,5 mm |
| Rugosité de surface (polie) |
≤0,5 nm |
| Transmission @193nm |
>93% |
| CTE (20-300°C) |
0,55×10⁻⁶/°C |
| Parallélisme |
≤3µm |
| Compatibilité sous vide |
10⁻¹⁰ Torr |
Caractéristiques clés de plaquette de quartz de 4 pouces
1. Précision grand format: TTV≤10µm à un diamètre de 100 mm assure l'uniformité du processus.
2. CTE ultra-faible: 0,55×10⁻⁶/°C, adapté aux processus à haute température (par exemple, recuit, implantation ionique).
3. Transparence à large bande: >93 % de transmission @193 nm (DUV), >90 % @3-5µm (IR).
4. Qualité de surface supérieure: Poli double face avec Ra≤0,5 nm pour la lithographie à l'échelle nanométrique.
5. Durabilité améliorée: Le renforcement chimique en option augmente la résistance à la flexion à 600 MPa ; résistant au plasma.
Applications stratégiques de plaquette de quartz de 4 pouces
| Domaine |
Applications |
| Semi-conducteur |
Optiques de lithographie EUV, substrats de photomasques, interposeurs 3D NAND |
| Lasers haute puissance |
Miroirs laser, réseaux de compression d'impulsions, embouts de fibre laser |
| Technologie quantique |
Supports de puces qubit, hublots de piège à atomes froids, substrats de détecteurs de photons uniques |
| Aérospatial |
Lentilles de satellite, fenêtres de capteurs résistantes aux radiations, détecteurs de particules |
| Biomédical |
Puces de séquençage d'ADN, optiques d'endoscope, moules de dispositifs microfluidiques |
Services de personnalisation
ZMSH fournit une personnalisation de bout en bout pour les plaquettes de quartz de 4 pouces, y compris :
- Sélection des matériaux: Silice fondue de qualité UV JGS1/JGS2 ou de qualité IR.
- Usinage de précision: Polissage à l'échelle nanométrique (λ/20), microstructuration laser (précision de ±1µm).
- Revêtements fonctionnels: AR (193-1064 nm), revêtements laser à haute LIDT (>5 J/cm²).
- Support QA: Rapports d'inspection complets (AOI, interférométrie).
FAQ
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