Plaquette de verre en cristal de quartz de 6 pouces de diamètre 150 mm, pureté 5N SiO₂
ZMSH est spécialisé dans la fabrication de plaquettes de quartz de 6 pouces, offrant :
Personnalisation multi-tailles : plaquettes standard de 6 pouces, ainsi que des variantes de 4", 8" et 12"
Traitement des bords : options pour les bords biseautés, les encoches et les méplats d'orientation
Traitements de surface : services personnalisés de polissage, de revêtement et de structuration
Paramètre pour la plaquette de quartz de 6pouces
| Paramètre |
Spécification |
| Diamètre |
6 pouces (150 mm) |
| Plage d'épaisseur |
0,5 mm ~ 3,0 mm |
| Tolérance d'épaisseur |
±0,02 mm |
| Variation totale d'épaisseur |
≤10μm |
| Rugosité de surface (polie) |
≤0,5 nm Ra |
| Parallélisme |
≤3μm |
| CTE (20-300°C) |
0,55×10⁻⁶/°C |
| Transmittance @193nm |
>92% |
| Résistivité |
>10¹⁶ Ω·cm |
| Compatibilité sous vide |
10⁻¹⁰ Torr |
| Résistance à la flexion (renforcée) |
500-700MPa |
Propriétés clés de la plaquette de quartz de 6pouces
| Caractéristique |
Spécification technique |
| Haute pureté |
≥99,999% de teneur en SiO₂ |
| CTE (20-300°C) |
0,55×10⁻⁶/°C (dilatation thermique ultra-faible) |
| Résistance à la traction |
50-70 MPa (options renforcées chimiquement disponibles) |
| Transmittance optique |
>92% @190-3500nm (spectre UV à NIR) |
| Propriétés électriques |
Résistivité >10¹⁶ Ω·cm, coefficients piézoélectriques |
Applications stratégiques de la plaquette de quartz de 6pouces
1. Fabrication de semi-conducteurs
Les plaquettes de quartz de 6 pouces sont largement utilisées dans l'encapsulation des semi-conducteurs, la fabrication de puces, et les domaines connexes, en particulier dans la production de :
- Puces mémoire(DRAM, NAND Flash)
- Dispositifs analogiques/de puissance(IGBT, MOSFET)
- Capteurs avancés(MEMS, capteurs d'image CMOS)
2. Composants optiques
En raison de leur haute transmittance optique et de leur CTE ultra-faible, les plaquettes de quartz sont idéales pour :
- Lentilles de précision(asphériques, réseaux de microlentilles)
- Filtres optiques(passe-bande, dichroïque)
- Guides d'ondes(CI photoniques, éléments de couplage de fibres)
3. MEMS (systèmes micro-électro-mécaniques)
Les plaquettes de quartz servent de substrats de qualité supérieure pour les dispositifs MEMS en raison de leur stabilité dimensionnelle et de leur robustesse mécanique, notamment :
- Microsenseurs(pression, inertiels, biocapteurs)
- Micro-actionneurs(commutateurs RF, transducteurs piézoélectriques)
- Résonateurs(filtres 5G, dispositifs de synchronisation)
4. Écrans TFT-LCD en poly-Si haute température
Les plaquettes de quartz sont essentielles à la fabrication d'écrans haute performance, en particulier :
- Fonds de panier HTPS (High-Temperature Poly-Si) TFT
- Micro-écrans(AR/VR, LCoS)
- Panneaux LCD avancés(substrats d'encapsulation OLED)
Services de fabrication personnalisés de plaquettes de quartz de 6pouces
Nous fournissons des solutions de bout en bout :
1. Sélection des matériaux : quartz JGS1/JGS2, silice fondue synthétique
2. Usinage de précision :
- Découpe laser (±5μm de tolérance)
- Perçage par ultrasons (rapport d'aspect 10:1)
3. Ingénierie de surface :
- Nano-polissage (Ra<0,3 nm)
- Revêtements antireflet DUV/IR
4. Assurance qualité :
- Traitement en salle blanche de classe 10
- Rapports de métrologie complets (TTV, gauchissement, courbure)
FAQ de la plaquette de quartz de 6pouces
Votre message doit contenir entre 20 et 3 000 caractères!
