Détails sur le produit:
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Diamètre: | 6 pouces (150 mm) | Tolérance à l'épaisseur: | ± 0,02 mm |
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Variation de l'épaisseur totale: | ≤10μm | Roughness de la surface: | Ra ≤ 0,5 nm |
Le parallélisme: | ≤3μm | Résistance: | > 1016 Ω·cm |
Mettre en évidence: | Substrat en cristal de quartz transparent résistant à la chaleur,Substrat en cristal de quartz monocristallin |
La gaufre de quartz de 6 pouces (150 mm de diamètre) est fabriquée à partir de verre de quartz de haute pureté (pureté ≥ 99,999%) d'une épaisseur allant de 50 à 500 μm. La rugosité de la surface est contrôlée jusqu'à Ra ≤ 0,5 nm par CMP (polissage mécanique chimique). Le processus de fabrication comprend: Je suis désolée.
· Purification des matières premières:Extraction de silicium de qualité électronique à partir de sable de quartz par procédés de chloration et de réduction, atteignant une pureté de 99,9999%. Je suis désolée.
· Croissance à cristal unique:Cultiver des tiges de silicium monocristalline selon la méthode de Czochralski (CZ), avec une densité de défaut < 1 défaut/cm2. Je suis désolée.
· Coupe et transformation:Coupe de tiges de silicium en plaquettes de 150 mm par scie à plusieurs fils, suivie d'un polissage à double face et d'une gravure au laser pour assurer une tolérance d'épaisseur ≤ ± 15 μm.
PAramètre | Spécification |
Diamètre | 6 pouces (150 mm) |
Plage d'épaisseur | 0.5 mm à 3.0 mm |
Tolérance à l'épaisseur | ± 0,02 mm |
Variation de l'épaisseur totale | ≤ 10 μm |
Roughness de surface (polie) | ≤ 0,5 nm Ra |
Le parallélisme | ≤ 3 μm |
TEC (20 à 300 °C) | 00,55 × 10−6/°C |
Transmittance @193 nm | > 92% |
Résistance | > 1016 Ω·cm |
Compatibilité sous vide | 10−10 Torr |
Résistance à la flexion (renforcée) | 500 à 700 MPa |
La gaufre de quartz de 6 pouces est un film mince circulaire en matière de quartz de haute pureté, largement utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs, l'optoélectronique et l'optique de précision.
· Haute pureté et résistance thermique:La pureté du verre au quartz ≥ 99,999%, point de ramollissement ~ 1730°C, tolérance à court terme jusqu'à 1450°C.
Je suis désolée.· Faible expansion thermique:Coefficient de dilatation thermique 0,5 × 10−6/°C (25-300°C), capable de résister à un choc thermique (ΔT ≥ 800°C).
· Stabilité chimique:Résistant à la corrosion par tous les acides sauf l'acide fluorhydrique, avec une résistance à la corrosion 30 fois supérieure à celle de la céramique et 150 fois supérieure à celle de l'acier inoxydable.
· Performance optique:Haute transmittance dans le spectre ultraviolet à proche infrarouge (lumière visible > 93%, proche infrarouge > 95%).
Je suis désolée.· Résistance mécanique:Dureté de Mohs de 7, résistance à la compression supérieure au verre standard.
1. Fabrication de semi-conducteurs: utilisés dans les diodes, les transistors et les MOSFET, pour l'électronique automobile et les semi-conducteurs de puissance.
Optoélectronique: sert de substrat pour les fibres optiques, les dispositifs laser et les guides d'ondes dans les réseaux et les centres de données 5G.
3Optique de précision: appliquée dans les systèmes d'imagerie infrarouge, les optiques laser et les lentilles à haute transmission.
4. Capteurs et instruments: composants essentiels des capteurs MEMS et des équipements de diagnostic médical.
5Aérospatiale: fenêtres optiques à haute température et composants résistants à la chaleur pour les engins spatiaux.
Les tubes de quartz sont des tubes de verre de quartz de haute pureté fabriqués en structures tubulaires, largement utilisés dans les procédés de diffusion/oxydation des semi-conducteurs et les équipements photovoltaïques.
· Traitement sur mesure: diamètres intérieurs (5-50 mm), longueurs (100-1000 mm) et épaisseurs de paroi (0,5-3 mm).
· Avantages techniques: fonctionne à 1100°C à long terme, faible teneur en hydroxyles (< 1 ppm) et haute résistance à la contamination, répondant aux exigences de propreté des semi-conducteurs.
1Q: Quelles sont les principales applications des plaquettes de quartz de 6 pouces? Je suis désolée.
R: Les plaquettes de quartz de 6 pouces sont largement utilisées dans la fabrication de semi-conducteurs (par exemple, diodes, MOSFET), optoélectronique (fibre optique, lasers),et des capteurs de précision en raison de leur haute stabilité thermique et de leur transparence optique..
2Q: Quels sont les défis dans la production de plaquettes de quartz de 6 pouces? Je suis désolée.
R: Les principaux défis comprennent le maintien d'une pureté ultra-haute (> 99,999% SiO2), la minimisation des défauts lors de la croissance du cristal et l'assurance de l'uniformité des processus de découpe / polissage.
Les étiquettes: # 6 pouces de substrat de quartz, # personnalisé, # plaques de silice fusionnées, # SiO2 cristal, # plaquettes de quartz, # JGS1/JGS2 Grade, # haute pureté, # composants optiques de silice fusionnée, # plaque de verre de quartz,Le diamètre est de 150 mm., Wafer de verre à cristal de quartz, SiO2 de pureté 5N, résistant à la chaleur, transparent, substrat de cristal de quartz monocristallin, appareils de scie
Personne à contacter: Mr. Wang
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