Plaquettes de quartz personnalisées de 2 pouces, 3 pouces, 4 pouces, 6 pouces, 8 pouces et 12 pouces, substrats en silice fondue transparente
Les plaquettes de quartz sont des substrats de précision fabriqués à partir de matériaux de quartz synthétique de haute pureté, largement utilisés dans les semi-conducteurs, l'optoélectronique, l'optique et les systèmes microélectromécaniques (MEMS). ZMSH est spécialisée dans la R&D et la production de matériaux semi-conducteurs en quartz, proposant des produits tels que des plaquettes de quartz, des fenêtres optiques en quartz, des tubes en quartz et des barquettes en quartz, les plaquettes de quartz étant notre principale gamme de produits. Nous proposons des solutions personnalisables pour les plaquettes de 2 à 12 pouces, répondant aux exigences spécifiques en matière de dimensions, d'épaisseur et de traitements de surface (polissage, revêtement, etc.).
ZMSH propose une disponibilité en stock et des services d'usinage sur mesure, garantissant une haute précision (par exemple, TTV ≤5μm), une planéité supérieure (Ra ≤1nm) et une excellente résistance aux hautes températures (point de ramollissement jusqu'à 1730°C). Nos produits sont largement utilisés dans la fabrication de semi-conducteurs, la technologie des photomasques, les capteurs et les systèmes laser.
Donnéespour plaquette de quartz de 2 à 12 pouces
| Taille |
Pouce |
2 pouces |
3 pouces |
4 pouces |
6 pouces |
8 pouces |
12 pouces |
|
Diamètre
|
mm |
50,8 |
76,2 |
100 |
150 |
200 |
300 |
| Tolérance (±) |
mm |
0,2 |
0,2 |
0,2 |
0,2 |
0,2 |
0,2 |
| Épaisseur |
µm |
100 et plus |
100 et plus |
100 et plus |
300 et plus |
400 et plus |
500 et plus |
| Plat de référence principal |
mm |
32,5 |
32,5 |
32,5 |
57,5 |
Semi-encoche |
Semi-encoche |
| LTV (5mmx5mm) |
µm |
< 0,5 |
< 0,5 |
< 0,5 |
< 0,5 |
< 0,5 |
< 0,5 |
| TTV |
µm |
< 2 |
< 2 |
< 2 |
< 3 |
<3 |
<5 |
| Flèche |
µm |
±20 |
±20 |
±20 |
±30 |
±40 |
±40 |
| Voile |
µm |
≤ 30 |
≤ 30 |
≤ 30 |
≤ 40 |
≤ 50 |
≤ 50 |
| PLTV(5mm*5mm)<0.4um |
% |
≥95% |
≥95% |
≥95% |
≥95% |
≥95% |
≥95% |
| Arrondissement des bords |
mm |
SEMI Std. |
SEMI Std. |
SEMI Std. |
SEMI Std. |
SEMI Std. |
SEMI Std. |
| Type de surface |
|
SSP/DSP |
SSP/DSP |
SSP/DSP |
SSP/DSP |
SSP/DSP |
SSP/DSP |
| Rugosité de surface |
nm |
≤1 |
≤1 |
≤1 |
≤1 |
≤1 |
≤1 |
Principales caractéristiques des plaquettes de quartz de 2 à 12 pouces2. Q : Quels sont les principaux avantages de l'utilisation de plaquettes de quartz dans la fabrication de semi-conducteurs ?
1. Matériau de haute pureté
-
: Quartz synthétique (par exemple, Suprasil ou Corning 7980) avec une pureté de SiO₂ ≥99,99 %, minimisant les impuretés dans les processus de semi-conducteurs.2. Stabilité thermique
-
-
: Faible coefficient de dilatation thermique (5,5×10⁻⁷/°C), résistant à des températures supérieures à 1000°C pour les environnements extrêmes.3. Performance optique
-
-
: Haute transmittance des longueurs d'onde UV à IR (par exemple, >90 % dans l'UV profond), idéale pour la lithographie et les applications laser.4. Précision de surface
-
-
: Polissage ultra-précis avec une rugosité de surface (Ra) ≤0,5 nm et une variation d'épaisseur totale (TTV) ≤5 μm.5. Gamme de tailles
-
-
: Tailles standard de 2 pouces, 4 pouces, 6 pouces, 8 pouces à 12 pouces, avec prise en charge des spécifications personnalisées.6. Inertie chimique
-
-
: Résistant aux acides forts (sauf HF), aux alcalis et à la gravure au plasma, adapté aux processus de semi-conducteurs.Domaines d'application
-
des plaquettes de quartz de 2 à 12 poucesR : Nous fournissons des plaquettes de quartz standard de 2 à 12 pouces avec des tailles et des spécifications personnalisées disponibles sur demande.2. Q : Quels sont les principaux avantages de l'utilisation de plaquettes de quartz dans la fabrication de semi-conducteurs ?
Utilisations spécifiques
| Avantages des plaquettes de quartz |
Fabrication de semi-conducteurs |
- Substrats de photomasques |
|
- Supports de processus de gravure |
- Tampons de polissage CMP
- Plaquettes de liaison temporaire
Haute planéité, faible dilatation thermique, résistance à la corrosion au plasma
Dispositifs optoélectroniques |
- Fenêtres laser |
|
- Substrats de filtres optiques |
- Substrats de capteurs IR
- Conditionnement de photodétecteurs
Haute transmittance UV-IR, faible perte d'absorption
MEMS/NEMS |
- Couches structurelles MEMS |
|
- Membranes de capteurs de précision |
- Modèles de nano-impression
Surface ultra-lisse, haute rigidité, stabilité chimique
Appareils 5G et RF |
- Substrats de filtres SAW/BAW |
|
- Bases d'antennes haute fréquence |
- Résonateurs diélectriques micro-ondes
Faible perte diélectrique, performances stables des signaux haute fréquence
Recherche et optique |
- Optique de rayonnement synchrotron |
|
- Fenêtres de diffraction des rayons X |
- Miroirs laser haute puissance
Résistance aux radiations, seuil de dommage laser élevé
Nouvelle énergie |
- Substrats de revêtement de cellules photovoltaïques |
|
- Couches d'électrolyte de piles à combustible |
- Recherche sur les séparateurs de batteries au lithium
Résistance aux hautes températures, prévention de la migration des ions
Services ZMSH de plaquettes de quartz personnalisées de 2 à 12 pouces |
Solutions complètes pour plaquettes de quartz : ZMSH fournit une production de plaquettes de quartz personnalisées (tailles standard/non standard de 2 "-12 ") avec un traitement de précision (polissage, revêtement, etc.) utilisant des matériaux de haute pureté (silice fondue de qualité UV, quartz à faible teneur en OH). |
Nos services comprennent des plaquettes 4 "/6 "/8 " en stock, des produits auxiliaires (fenêtres optiques, tubes en quartz), une certification complète des tests et un support technique pour la sélection des matériaux et l'optimisation des processus.
FAQ des plaquettes de quartz de 2 à 12 pouces
1. Q : Quelles tailles de plaquettes de quartz sont disponibles pour les applications de semi-conducteurs ?R : Nous fournissons des plaquettes de quartz standard de 2 à 12 pouces avec des tailles et des spécifications personnalisées disponibles sur demande.2. Q : Quels sont les principaux avantages de l'utilisation de plaquettes de quartz dans la fabrication de semi-conducteurs ?
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