Effecteur d'extrémité en SiC de haute pureté pour la manipulation de plaquettes, fourche résistante à la corrosion et à la chaleur pour le traitement des semi-conducteurs

Description du produit:

NotreEfféctateurs de bout en bout SiCsont conçus pour une manipulation ultra-propre des plaquettes dans des environnements de fabrication de semi-conducteurs.de carbure de silicium de haute pureté, ces fourchettes fournissentrésistance thermique exceptionnelle,stabilité chimique, etrésistance mécanique les rendre idéales pour une utilisation danschambres de traitement durescomme les systèmes de gravure, de dépôt et de transport à haute température.

Le corps de SiC dense et à grains fins assurefaible production de particules,excellente stabilité dimensionnelle, et la compatibilité avecWaffles de 200 à 300 mmDes conceptions personnalisées sont disponibles pour des bras robotisés spécifiques et des porteuses de plaquettes.

Principales caractéristiques:

• Matériau: carbure de silicium (SiC) de haute pureté

• Excellente résistance thermique (jusqu'à 1600°C)

• Résistance supérieure à la corrosion chimique et au plasma

• Haute résistance mécanique et rigidité

• Faible production de particules pour les salles blanches

• Disponible pour la manipulation de gaufres de 4", 6", 8" et 12"

• Formes et fentes personnalisées pour la compatibilité avec les robots

Les spécifications du produit:

Mots clés / balises:
 

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