Cassette à plaquette unique de 1 pouce pour le stockage de plaquettes sécurisées par ESD
La cassette de gaufre de 1 pouce est un conteneur spécialisé conçu pour stocker, transporter et manipuler automatiquement des gaufres de 1 pouce (25,4 mm) dans la fabrication de semi-conducteurs, de dispositifs optoélectroniques,R & D en microélectroniqueFabriqué à partir de polymères de haute pureté (tels que le PEEK ou le PVDF) ou de matériaux antistatiques, il assure la protection des plaquettes contre la contamination, les dommages électrostatiques,et l'impact physique dans les environnements de salles blanchesConforme aux normes SEMI, la cassette est adaptée aux systèmes de transfert automatisés de plaquettes dans des processus tels que MOCVD, PECVD, lithographie et gravure.
Une cassette de 1 poucePrincipales caractéristiques
1Performance ultra propre:
• Une cassette à gaufres de 1 pouce certifiée pour les salles blanches de classe 100 avec une production de particules extrêmement faible (< 5 particules/pi pour > 0,1 μm)
• Une surface lisse empêche les gaufres de se rayer
2. Protection contre les DSE:
• revêtement renforcé de fibres de carbone ou antistatique avec une résistivité de surface de 106 à 109Ω/m2
• La cassette Wafer de 1 pouce empêche efficacement l'attraction des particules et les dommages par décharge électrostatique
3- Fiabilité mécanique:
• Résistant aux températures élevées (jusqu'à 150°C) et aux produits chimiques (acides, alcalis et solvants organiques)
• 1 pouce de cassette Wafer testée par vibration conforme à la conception pour un transport sécurisé
4Compatibilité avec l'automatisation:
• Interfaces standardisées de cassettes à plaquette de 1 pouce (compatibles SMIF/FOUP) pour la manipulation robotique
• Compatible avec les principaux équipements de semi-conducteurs (ASML, matériaux appliqués, etc.)
5Protection des plaquettes de précision:
• 1 pouce Wafer Cassette slot précision de l'envergure ± 0,1 mm avec une erreur de positionnement de la wafer ≤ 0,05 mm
• Des emplacements de balises RFID en option pour la traçabilité des plaquettes
Une cassette de 1 pouceApplications principales
Fabrication de semi-conducteurs:
• Traitement avant (lithographie, implantation ionique) des plaquettes GaN/SiC
• Traitement des semi-conducteurs traditionnels (Si, GaAs, InP)
• production de dispositifs de puissance (MOSFET/IGBT) et de dispositifs RF (GaN)
2Optoélectronique:
• manipulation des plaquettes par puce LED/microLED et laser (VCSEL/EEL)
• Traitement épitaxial par LED UV/IR/visible
Applications de R & D:
• Cassette Wafer de 1 pouce avec des expériences de petites wafers dans les établissements universitaires et de recherche
• recherche de nouveaux matériaux optoélectroniques (points quantiques, pérovskites)
4MEMS Fabrication:
• Protection des plaquettes de capteurs (accéléromètres, gyroscopes, capteurs de pression)
• fabrication de dispositifs MEMS bio et optiques
Emballage avancé:
• La cassette Wafer de 1 pouce est un stockage temporaire pour l'emballage au niveau des wafers (WLP) et l'intégration des circuits intégrés 3D.
Recommandations de produits connexes
ZMSH fournit des cassettes de plaquettes simples de 1 à 6 pouces, nous fournissons des solutions professionnelles de stockage et de transfert de plaquettes pour la fabrication de semi-conducteurs. Le laboratoire de 1 pouce convient à la R & D pour les matériaux GaAs, 2 pouces pour le traitement LED / MEMS, 3 pouces pour les appareils de puissance SiC / GaN, 4 pouces pour les semi-conducteurs de silicium traditionnels et 6 pouces prend en charge la production avancée d'IC. Toutes les tailles sont conformes aux normes SEMI pour un transfert fiable dans les salles blanches.
1 pouce cassette Wafer FAQ
1. Q: À quoi sert une cassette de wafer de 1 pouce?
R: Il est principalement utilisé pour manipuler et stocker des plaquettes semi-conducteurs de 1 pouce dans les laboratoires de recherche et la production à petite échelle de dispositifs optoélectroniques.
2Q: De quels matériaux sont fabriquées les cassettes de wafers de 1 pouce?
R: Ils sont généralement faits de polymères de haute pureté comme le PEEK ou le PVDF avec des propriétés antistatiques pour une compatibilité avec les salles blanches.
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