Cassette simple pour plaquette de 1 pouce pour le stockage de plaquettes antistatiques

Cassette à plaquette unique de 1 pouce pour le stockage de plaquettes sécurisées par ESD

La cassette de gaufre de 1 pouce est un conteneur spécialisé conçu pour stocker, transporter et manipuler automatiquement des gaufres de 1 pouce (25,4 mm) dans la fabrication de semi-conducteurs, de dispositifs optoélectroniques,R & D en microélectroniqueFabriqué à partir de polymères de haute pureté (tels que le PEEK ou le PVDF) ou de matériaux antistatiques, il assure la protection des plaquettes contre la contamination, les dommages électrostatiques,et l'impact physique dans les environnements de salles blanchesConforme aux normes SEMI, la cassette est adaptée aux systèmes de transfert automatisés de plaquettes dans des processus tels que MOCVD, PECVD, lithographie et gravure.

Une cassette de 1 poucePrincipales caractéristiques

1Performance ultra propre:

• Une cassette à gaufres de 1 pouce certifiée pour les salles blanches de classe 100 avec une production de particules extrêmement faible (< 5 particules/pi pour > 0,1 μm)

• Une surface lisse empêche les gaufres de se rayer

2. Protection contre les DSE:

• revêtement renforcé de fibres de carbone ou antistatique avec une résistivité de surface de 106 à 109Ω/m2

• La cassette Wafer de 1 pouce empêche efficacement l'attraction des particules et les dommages par décharge électrostatique

3- Fiabilité mécanique:

• Résistant aux températures élevées (jusqu'à 150°C) et aux produits chimiques (acides, alcalis et solvants organiques)

• 1 pouce de cassette Wafer testée par vibration conforme à la conception pour un transport sécurisé

4Compatibilité avec l'automatisation:

• Interfaces standardisées de cassettes à plaquette de 1 pouce (compatibles SMIF/FOUP) pour la manipulation robotique

• Compatible avec les principaux équipements de semi-conducteurs (ASML, matériaux appliqués, etc.)

5Protection des plaquettes de précision:

• 1 pouce Wafer Cassette slot précision de l'envergure ± 0,1 mm avec une erreur de positionnement de la wafer ≤ 0,05 mm

• Des emplacements de balises RFID en option pour la traçabilité des plaquettes