Cassette de plaquettes de 1 pouce, diamètre 16 mm, capacité de 25 pièces pour le transport de plaquettes
La cassette de plaquettes de 1 pouce est un conteneur spécialisé conçu pour la manipulation, le transport et le stockage en toute sécurité de plaquettes de semi-conducteurs de petit diamètre (1 pouce). Son rôle principal est d'assurer une protection physique, une isolation environnementale et une compatibilité avec les systèmes automatisés, garantissant l'intégrité des plaquettes et l'efficacité des processus tout au long des flux de travail de fabrication de semi-conducteurs.
Composants principaux et conception de la cassette de plaquettes de 1 pouce
1. Conception structurelle
- Cassette de plaquettes de 1 pouce construite à partir de métaux à haute résistance (par exemple, acier inoxydable) ou de plastiques techniques résistants à la corrosion (par exemple, PEEK, PTFE).
- Comporte des fentes ou des rainures fixes de précision adaptées aux plaquettes de 1 pouce, minimisant les contraintes mécaniques et empêchant le glissement ou l'abrasion des plaquettes pendant le transport.
2. Compatibilité standardisée
- La cassette de plaquettes de 1 pouce respecte les normes dimensionnelles de l'industrie des semi-conducteurs (par exemple, les normes SEMI), permettant une intégration transparente avec les équipements automatisés tels que les bras robotiques, les systèmes de convoyeurs et les modules frontaux d'équipement (EFEM).
- Optimisée pour la compatibilité avec les AMHS (Systèmes de manutention automatisée des matériaux) et les interfaces de pods de plaquettes.
3. Intégration fonctionnelle
- Les modèles avancés intègrent des étiquettes ou des capteurs pour le suivi en temps réel des lots de plaquettes, de l'état des processus et des données de localisation.
Principales caractéristiques de la cassette de plaquettes de 1 pouce
1. Protection physique améliorée
- Atténuation des décharges électrostatiques (ESD) : la cassette de plaquettes de 1 pouce utilise des matériaux antistatiques (par exemple, revêtements conducteurs, fluoropolymères) pour protéger les plaquettes contre les dommages électrostatiques.
- Absorption des chocs : des coussinets en silicone ou des inserts caoutchoutés dans les rainures amortissent les vibrations et absorbent les chocs, ce qui est essentiel pour les plaquettes fragiles de 1 pouce.
2. Contrôle environnemental
- Construction scellée : la cassette de plaquettes de 1 pouce empêche la contamination par la poussière, l'humidité et les vapeurs chimiques. Certaines variantes prennent en charge les environnements sous vide ou à gaz inerte (par exemple, la purge à l'azote) pour les processus sensibles comme la lithographie ou la gravure.
- Résistance à la température : la cassette de plaquettes de 1 pouce fonctionne de manière fiable sur une large plage de températures (-20°C à 150°C), répondant aux exigences de recuit à haute température ou de stockage à basse température.
3. Caractéristiques prêtes pour l'automatisation
- Interfaces standardisées : des fentes de préhension mécanique montées sur le dessus ou des broches d'alignement permettent un arrimage précis avec les bras robotiques et les systèmes EFEM.
- Verrous de positionnement : des loquets magnétiques ou mécaniques garantissent que les plaquettes restent solidement alignées pendant les transferts automatisés, évitant les défaillances d'équipement induites par un mauvais alignement.
4. Rentabilité
- Conception légère optimisée pour les plaquettes de 1 pouce, réduisant les coûts de matériaux tout en maintenant la durabilité, idéale pour la R&D et la production en petits lots.
Principales applications de la cassette de plaquettes de 1 pouce
1. R&D et prototypage de semi-conducteurs
- La cassette de plaquettes de 1 pouce facilite la validation des processus dans les laboratoires ou les lignes pilotes pour les technologies avancées comme les MEMS (systèmes micro-électro-mécaniques) et les capteurs.
- La cassette de plaquettes de 1 pouce prend en charge les étapes critiques telles que la photolithographie, l'implantation ionique et la gravure à sec.
2. Intégration de processus spécialisés
- Processus de nettoyage humide : la cassette de plaquettes de 1 pouce résiste à la corrosion chimique lors des traitements SC1 (nettoyage standard 1) ou SC2 (nettoyage standard 2).
- Processus à haute température : les variantes de cassettes métalliques supportent les contraintes thermiques dans les fours de recuit ou de diffusion.
3. Lignes de production automatisées
- Les cassettes rationalisent le suivi des lots et la synchronisation des équipements, optimisant la planification de la production.
4. Éducation et contrôle qualité
- La cassette de plaquettes de 1 pouce est utilisée dans les milieux universitaires pour démontrer le découpage, l'emballage et les protocoles de manipulation des plaquettes.
- La cassette de plaquettes de 1 pouce sert de support de précision pour les systèmes d'inspection automatisés des plaquettes, assurant la précision de la position lors de l'analyse des défauts.
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Questions et réponses sur la cassette de plaquettes de 1 pouce
1. Q : Quels sont les principaux avantages de conception des cassettes de plaquettes de 1 pouce ?
R : Les dimensions standardisées (par exemple, 25 plaquettes par cassette) optimisent la compatibilité des équipements et l'efficacité du traitement automatisé tout en minimisant les risques d'endommagement des plaquettes.
2. Q : Quels sont les scénarios d'application typiques des cassettes de plaquettes de 1 pouce dans la fabrication de semi-conducteurs ?
R : Elles sont utilisées pour le stockage des plaquettes dans les usines de semi-conducteurs, le transfert entre équipements et la manutention standardisée des matériaux à travers les étapes du processus.
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