Cassette pour plaquettes de 1 pouce, diamètre 16 mm, capacité 25 pièces

La cassette de plaquettes de 1 pouce est un conteneur spécialisé conçu pour la manipulation, le transport et le stockage en toute sécurité de plaquettes de semi-conducteurs de petit diamètre (1 pouce). Son rôle principal est d'assurer une protection physique, une isolation environnementale et une compatibilité avec les systèmes automatisés, garantissant l'intégrité des plaquettes et l'efficacité des processus tout au long des flux de travail de fabrication de semi-conducteurs.

 Principales caractéristiques de la cassette de plaquettes de 1 pouce

1. Protection physique améliorée

• Atténuation des décharges électrostatiques (ESD) : la cassette de plaquettes de 1 pouce utilise des matériaux antistatiques (par exemple, revêtements conducteurs, fluoropolymères) pour protéger les plaquettes contre les dommages électrostatiques.
• Absorption des chocs : des coussinets en silicone ou des inserts caoutchoutés dans les rainures amortissent les vibrations et absorbent les chocs, ce qui est essentiel pour les plaquettes fragiles de 1 pouce.

2. Contrôle environnemental

• Construction scellée : la cassette de plaquettes de 1 pouce empêche la contamination par la poussière, l'humidité et les vapeurs chimiques. Certaines variantes prennent en charge les environnements sous vide ou à gaz inerte (par exemple, la purge à l'azote) pour les processus sensibles comme la lithographie ou la gravure.
• Résistance à la température : la cassette de plaquettes de 1 pouce fonctionne de manière fiable sur une large plage de températures (-20°C à 150°C), répondant aux exigences de recuit à haute température ou de stockage à basse température.

3. Caractéristiques prêtes pour l'automatisation

• Interfaces standardisées : des fentes de préhension mécanique montées sur le dessus ou des broches d'alignement permettent un arrimage précis avec les bras robotiques et les systèmes EFEM.
• Verrous de positionnement : des loquets magnétiques ou mécaniques garantissent que les plaquettes restent solidement alignées pendant les transferts automatisés, évitant les défaillances d'équipement induites par un mauvais alignement.

4. Rentabilité

• Conception légère optimisée pour les plaquettes de 1 pouce, réduisant les coûts de matériaux tout en maintenant la durabilité, idéale pour la R&D et la production en petits lots.

Principales applications de la cassette de plaquettes de 1 pouce

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