Plateau en céramique au carbure de silicium pour le traitement des plaquettes de semi-conducteurs

Plateau en céramique au carbure de silicium pour le traitement des plaquettes de semi-conducteurs

Vue d'ensemble du produit

Le plateau en céramique au carbure de silicium (SiC) est un plateau haute performance conçu pour supporter des plaquettes semi-conducteurs et d'autres matériaux dans des environnements à haute température et chimiquement agressifs.Connue pour son excellente résistance à la corrosion, haute stabilité thermique et résistance mécanique, le plateau SiC assure des performances constantes et un support fiable pour les processus critiques tels que l'épitaxie, la diffusion, l'oxydation,et frittage à haute température.

Les plateaux en SiC sont largement utilisés dans la fabrication de semi-conducteurs, la production de céramiques avancées, le traitement chimique, l'électronique, les composants optiques, l'aérospatiale, l'automobile et la fabrication de dispositifs médicaux.

Les spécifications

Méthodes de fabrication:Sintrage sans pression, pressage à chaud, revêtement CVD, lié par réaction.

Principales caractéristiques

1. Haute stabilité thermique: maintient des performances à des températures extrêmes, adapté au frittage et au traitement des semi-conducteurs.

2. Résistance mécanique: haute dureté et capacité de charge empêchent la déformation ou la fissuration.

3. Résistance aux produits chimiques: Résiste aux acides forts, aux alcalis et aux produits chimiques corrosifs.

4. Conductivité thermique: transfert de chaleur efficace pour des températures de traitement uniformes.

5. Faible expansion thermique: assure une stabilité dimensionnelle en cycle thermique.

6. Isolation électrique: fournit une isolation fiable pour les applications électroniques.

7. Options de revêtement CVD: disponible pour une résistance accrue à l'usure et une protection contre les chocs thermiques.

8. Tailles et formes personnalisables: Prend en charge les exigences spécifiques du processus.

Applications

• Fabrication de semi-conducteurs:Prend en charge les puces LED et wafer dans les processus d'épitaxie, de diffusion et d'oxydation.

• Pour les appareils à combustion interne:Fournit un support stable pour les céramiques et les métaux pendant le frittage.

• Traitement chimique:Traite les produits chimiques agressifs en toute sécurité dans les installations industrielles ou de laboratoire.

• Production électronique et optique:Prend en charge les substrats et les composants optiques nécessitant un contrôle thermique précis.

• Aérospatiale et automobile:Des plateaux légers et résistants adaptés aux composants nécessitant une gestion thermique et une résistance à la corrosion.

• Fabrication de dispositifs médicaux:Convient pour les plateaux résistants aux produits chimiques et stérilisés.

• Production de batteries et industrie solaire:Prend en charge les processus à haute température pour les batteries lithium-ion et les cellules photovoltaïques.

• Laboratoire et R & D:Idéal pour les expériences impliquant une chaleur élevée ou des matériaux corrosifs.

• Métallurgie des poudres et industrie du verre et de la céramique:Assure un chauffage uniforme et un contrôle fiable du processus.

Les avantages

• La pureté élevée et l'inertie chimique réduisent le risque de contamination.

• Propriétés mécaniques stables dans des conditions extrêmes.

• Excellente résistance à l'usure pour une utilisation à long terme.

• Léger mais durable pour une manipulation facile.

• Versatile pour de multiples applications industrielles.

Emballage

Tous les plateaux en céramique au carbure de silicium sont soigneusement emballés pour minimiser les dommages pendant le stockage et le transport, garantissant que les produits arrivent en parfait état.

Questions fréquentes

1 Les plateaux en céramique SiC peuvent-ils résister à des températures extrêmes lors de la fabrication de semi-conducteurs?

Oui, les plateaux en céramique SiC sont conçus pour résister à des températures de fonctionnement continues allant jusqu'à 1650°C, ce qui les rend idéaux pour les procédés à haute température tels que l'épitaxie, la diffusion,et oxydation dans la production de semi-conducteurs et de LED.

2 Quelle est la résistance des plateaux en SiC à la corrosion et à l'exposition aux produits chimiques?

Les plateaux en SiC offrent une résistance chimique exceptionnelle aux acides forts, aux alcalis, au plasma et à d'autres environnements corrosifs.réacteurs chimiques, et autres environnements industriels difficiles où l'intégrité des matériaux est essentielle.

3 Les plateaux en céramique SiC sont-ils personnalisables en termes de taille, de forme et de revêtement?

Oui, les plateaux en céramique SiC peuvent être personnalisés pour répondre à des exigences spécifiques, y compris les dimensions, l'épaisseur et la finition de surface.Nous offrons des revêtements CVD pour une résistance accrue à l'usure et une meilleure résistance aux chocs thermiques, en fonction des besoins de votre demande.

Résumé

Les plateaux en céramique au carbure de silicium ZMSH combinent l'excellence thermique, chimique et mécanique pour fournir une plate-forme fiable pour les plaquettes semi-conducteurs et les processus de fabrication avancés.Leur haute précision, résistance à la corrosion et stabilité thermique en font des composants essentiels dans les industries de haute technologie modernes.

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