Plateau en céramique SiC pour les procédés d'épitaxie et de gravure ICP des plaquettes LED

Plateau en céramique SiC pour les procédés d'épitaxie et de gravure ICP des plaquettes LED

Vue d'ensemble du produit

Le plateau en céramique SiC est une solution de haute performance conçue pour supporter des plaquettes semi-conducteurs et d'autres matériaux dans des environnements à haute température et chimiquement agressifs.Réputé pour sa résistance exceptionnelle à la corrosion, une stabilité thermique et une résistance mécaniques supérieures, le plateau SiC offre des performances constantes et un support fiable pour les processus critiques tels que l'épitaxie, la diffusion, l'oxydation,et frittage à haute température.

Les plateaux en SiC sont essentiels dans des industries telles que la fabrication de semi-conducteurs, la céramique avancée, le traitement chimique, l'électronique, l'optique, l'aérospatiale, l'automobile et la fabrication de dispositifs médicaux.

Les spécifications

Principales caractéristiques des plateaux en céramique SiC

1. • Haute stabilité thermique: conserve ses performances à des températures extrêmes, ce qui les rend idéales pour les processus à haute température tels que le frittage et la fabrication de semi-conducteurs.

   • Une résistance mécanique exceptionnelle: Haute dureté et excellente capacité de charge empêchent la déformation ou la fissuration sous contrainte.

   • Une résistance chimique supérieure: Résistant aux acides forts, aux alcalis et à d'autres produits chimiques corrosifs, garantissant sa fiabilité dans des environnements difficiles.

   • Excellente conductivité thermique: Un transfert de chaleur efficace permet une répartition uniforme de la température, ce qui optimise le contrôle du processus.

   • Faible expansion thermique: Maintient la stabilité dimensionnelle pendant le cycle thermique, réduisant le risque de déformation ou de distorsion.

   • Isolement électrique: Il offre une isolation fiable, ce qui le rend adapté aux applications électroniques.

   • Options de revêtement CVD: disponible pour améliorer la résistance à l'usure et fournir une protection supplémentaire contre les chocs thermiques.

   • Tailles et formes personnalisables: adaptés aux exigences spécifiques des procédés pour différentes applications industrielles.

Applications des plateaux en céramique SiC

• • Fabrication de semi-conducteurs: Essentiel pour soutenir les puces LED et wafer pendant les processus tels que l'épitaxie, la diffusion et l'oxydation.

  • Sintration à haute température: offre un support stable pour les céramiques et les métaux dans les processus de frittage à température élevée.

  • Traitement chimique: Manipulation sécuritaire des produits chimiques agressifs dans les milieux industriels et de laboratoire.

  • Production électronique et optique: Utilisé pour les substrats et les composants optiques nécessitant un contrôle thermique précis.

  • Aérospatiale et automobile: plateaux légers mais résistants idéaux pour les composants nécessitant une gestion thermique et une résistance à la corrosion supérieures.

  • Fabrication de dispositifs médicaux: Parfait pour les plateaux qui doivent être à la fois résistants aux produits chimiques et stérilisés.

  • Production de batteries et industrie solaire: Prend en charge les processus à haute température essentiels pour les batteries lithium-ion et les cellules photovoltaïques.

  • Laboratoire et R & D: Convient pour les expériences impliquant une chaleur élevée ou une exposition à des matériaux corrosifs.

  • Métallurgie des poudres et industrie du verre et de la céramique: Assure un chauffage uniforme et un contrôle fiable du processus dans la fabrication à haute température.

Les avantages dePlateau en céramique SiC

• • Haute pureté et inerté chimique: réduit au minimum le risque de contamination, idéal pour des applications de précision.

  • Stabilité dans des conditions extrêmes: Maintient la résistance mécanique et l'intégrité même dans des environnements difficiles.

  • Résistance à l'usure exceptionnelle: Conçu pour une utilisation à long terme, offrant une durabilité et réduisant le besoin de remplacements fréquents.

  • Léger et durable: Facile à manipuler sans compromettre la résistance et les performances.

  • Versatile pour de nombreuses industries: Adaptable à un large éventail d'applications, de la fabrication de haute technologie à la recherche et au développement.

Résumé

Les plateaux en céramique SiC ZMSH offrent une combinaison d'excellence thermique, chimique et mécanique, ce qui en fait un composant indispensable dans les processus de fabrication avancés.résistance à la corrosion, et la stabilité thermique assurent la fiabilité dans des industries telles que la production de semi-conducteurs, l'aérospatiale, les dispositifs médicaux, etc. Ces plateaux sont conçus pour des applications de haute performance,fournir des solutions durables dans des environnements exigeants.

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