BOROFLOAT 33 BF33 Wafer de verre borosilicate pour MEMS à semi-conducteurs et applications optiques

BF33 (BOROFLOAT 33) est une plaque de verre borosilicate haute performance fabriquée à l'aide d'une technologie de microfloat avancée.et des applications microfluidiques en raison de son excellente stabilité thermique, une transmission optique élevée et une forte résistance chimique.

Avec un coefficient de dilatation thermique d'environ 3,3 × 10−6 /K, le BF33 correspond étroitement au silicium, ce qui en fait un substrat idéal pour la liaison des plaquettes, la microfabrication et les systèmes optiques de précision.

Il offre une excellente planéité, une rugosité de surface ultra-faible et une résistance mécanique élevée, ce qui le rend approprié pour les environnements d'ingénierie de salle blanche et de précision exigeants.

Propriétés matérielles

Principales caractéristiques

• Faible coefficient de dilatation thermique associé à des substrats en silicium
• Haute transmission optique du spectre UV à proche infrarouge
• Excellente résistance chimique aux acides, aux alcalis et aux solvants
• Haute stabilité thermique jusqu'à 450°C (utilisation à long terme)
• Résistance à court terme jusqu'à 500°C
• Qualité de surface ultra-lisse (Ra < 1 nm, DSP disponible)
• Haute résistance mécanique et excellente résistance aux rayures
• Faible autofluorescence pour les applications biomédicales
• Excellente planéité et faible TTV pour les procédés de précision

Applications

Applications dans le domaine des semi-conducteurs et des MEMS

• Capteurs et microdispositifs MEMS
• Substrats d'emballage au niveau des plaquettes
• Processus de liaison anodique au silicium
• Puces microfluidiques et systèmes de laboratoire sur puce
• Processus de transport et d'amincissement des plaquettes

Systèmes optiques et photoniques

• Fenêtres laser et composants optiques
• Systèmes de diapositives et d'imagerie au microscope
• Filtres optiques et substrats de précision
• Ensembles optiques à haute stabilité

Dispositifs biomédicaux et analytiques

• Biochips et plateformes de diagnostic
• PCR et systèmes de laboratoire sur puce
• Systèmes de détection à faible autofluorescence
• Appareils d'analyse microfluidique

Applications industrielles et à haute température

• Fenêtres d'observation du four
• Appareils de traitement de l'eau
• Fenêtres de protection des capteurs
• Systèmes de surveillance environnementale

Spécifications disponibles

Les avantages

La gaufre en verre borosilicate BF33 combine une expansion thermique équivalente au silicium, d'excellentes performances optiques, une grande durabilité chimique et une qualité de surface compatible avec le MEMS.

Il est largement utilisé comme matériau de pont entre le traitement des semi-conducteurs, l'ingénierie optique et la fabrication de dispositifs à petite échelle.

Questions fréquentes

C'est quoi une plaquette en verre borosilicate BF33?

Le BF33 est une gaufre en verre borosilicate de haute pureté produite par la technologie du microfloat, avec une faible expansion thermique, une grande clarté optique et une forte résistance chimique.

Pourquoi le BF33 est-il utilisé dans les applications MEMS?

Sa dilatation thermique correspond étroitement au silicium, réduisant le stress lors de la liaison et améliorant la stabilité dans les processus MEMS et au niveau des plaquettes.

Les plaquettes BF33 peuvent-elles être polies?

Oui, les plaquettes BF33 sont disponibles sous forme SSP et DSP. Les plaquettes polies à double face peuvent atteindre une rugosité de surface inférieure à 1 nm.

Le BF33 est-il adapté aux applications optiques?

Oui, il offre une transmission élevée des UV aux longueurs d'onde proche infrarouge, ce qui le rend idéal pour les systèmes optiques et photoniques.

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