Les tubes applicateurs de saphir sont des composants spécialisés utilisés dans les équipements de plasma et de procédés semi-conducteurs où le tube peut être exposé à l'énergie micro-ondes ou RF, aux gaz de procédés réactifs,températures élevées et espèces générées par plasma.

Dans les systèmes de plasma distants, le gaz de processus peut passer à travers un tube applicateur tandis que l'énergie des micro-ondes est couplée à la région de l'applicateur pour générer des espèces de plasma réactif.Le saphir est particulièrement adapté à ce type d'application en raison de sa stabilité thermique, les caractéristiques d'isolation électrique, de résistance chimique et de transmission micro-ondes/RF.

Nos tubes applicateurs en saphir peuvent être fournis comme tubes individuels ou comme ensembles complets incorporant des boîtiers métalliques de précision, des connecteurs filetés,les interfaces d'étanchéité et autres composants mécaniques sur mesure.

Le produit présenté ici combine un tube de saphir de précision avec une structure de montage en métal usinée et est destiné à être utilisé comme remplacement ou composant personnalisé pour les équipements de processus de semi-conducteurs.

Principales caractéristiques

Matériau de saphir de haute pureté

Le tube applicateur est fabriqué à partir de saphir synthétique adapté aux environnements exigeants des équipements semi-conducteurs.

Le saphir offre une excellente résistance aux températures élevées, à l'exposition au plasma et à des conditions de processus chimiquement agressives tout en conservant une résistance mécanique élevée.

Convient pour les applications au plasma

Les tubes en saphir sont largement utilisés dans les applications de traitement des semi-conducteurs, y compris les tubes applicateurs de plasma, les tubes de confinement de plasma,composants d'injecteurs de gaz de procédé et systèmes de production de plasma connexes.

Compatible avec les micro-ondes et les RF

Le saphir offre d'excellentes caractéristiques diélectriques et une capacité de transmission RF/micro-ondes, ce qui le rend approprié pour les composants placés dans des systèmes de production de plasma à micro-ondes ou à distance.

Fabrication de tubes de précision

Les dimensions des tubes peuvent être contrôlées selon les exigences du client, notamment:

• Diamètre extérieur
• Diamètre intérieur
• Épaisseur de paroi
• Longueur totale
• Géométrie de l'extrémité
• Structure de l'épaule
• Conception de la rainure
• Finition de surface
• Interface d'assemblage

Le saphir et le métal

En plus de la fabrication de tubes en saphir, nous pouvons fournir des ensembles intégrés incorporant des composants métalliques usinés.

Les services disponibles peuvent inclure:

• Casque métallique de précision
• Les fils extérieurs
• Structures de montage intérieures
• autres appareils de traitement des eaux usées
• autres appareils
• Interfaces d'étanchéité
• Assemblage de saphir en métal
• Fabrication de pièces de rechange

Pièces de rechange sur mesure

Nous soutenons les pièces d'équipement de semi-conducteurs personnalisées selon:

• Les dessins des clients
• Échantillons originaux
• Dimensions de l'équipement
• Spécifications des composants existantes
• Numéros de référence OEM
• Exigences en matière de rétro-ingénierie

Cela rend le produit adapté aux projets de maintenance, de remplacement et de localisation des équipements semi-conducteurs.

Applications typiques

Les tubes applicateurs de saphir peuvent être utilisés dans des équipements et des procédés tels que:

• Systèmes de source de plasma à distance
• Nettoyage des chambres à plasma
• Génération de plasma par micro-ondes
• Équipement de CVD à semi-conducteurs
• Équipement PECVD
• Équipement HDP-CVD
• Équipement de gravure au plasma
• Systèmes de gravure à sec
• Livraison de gaz de procédé
• Systèmes d'activation par gaz plasmatique
• Pièces détachées d'équipements de semi-conducteurs

Les tubes en saphir sont déjà utilisés commercialement pour les applications d'application de plasma à semi-conducteurs, de confinement de plasma et d'injecteur de gaz de procédé.

Spécifications du produit

Note: Les dimensions et les structures d'assemblage sont fabriquées selon l'équipement, le dessin ou l'échantillon existant du client.

Pourquoi utiliser le saphir pour les tubes d'application de plasma?

Le tube applicateur est situé dans l'une des zones les plus exigeantes d'un système de production de plasma.

Selon la conception de l'équipement, le tube peut rencontrer simultanément des gaz réactifs, des espèces plasmatiques énergétiques, de l'énergie micro-ondes et des températures élevées.

Comparé aux matériaux de verre classiques, le saphir offre une combinaison de:

• Résistance à haute température
• Résistance mécanique élevée
• Excellente stabilité chimique
• Résistance au plasma
• Bonnes propriétés diélectriques
• Transmission par micro-ondes/RF
• Potentiel de long service dans des environnements de processus exigeants

Pour cette raison, le saphir est devenu un matériau d'ingénierie important pour les tubes d'application de plasma et d'autres composants d'équipement de procédés de semi-conducteurs.

Fabrication de tubes à appliquer de saphir sur mesure

Nous fabriquons des composants en saphir pour les équipements semi-conducteurs en mettant l'accent sur les applications sur mesure et de remplacement.

Au lieu de limiter les clients aux dimensions standard des tubes, nous pouvons fabriquer des pièces selon les exigences réelles des équipements de processus.

Les options de personnalisation comprennent:

Tubes en saphir

• Surdose et ID
• Longueur du tube
• Épaisseur de paroi
• Finitions de tubes
• Pas et épaules
• Des fentes et rainures
• Roughness de la surface
• Exigences en matière de polissage

Composants métalliques

• Dimensions du boîtier
• Spécifications du fil
• Interfaces de montage
• autres appareils
• Les manches
• Structures de connecteurs

Assemblage

Les tubes en saphir peuvent également être fournis avec des composants métalliques correspondants en tant que pièce d'équipement de semi-conducteurs assemblée.

Remplacement et service d'ingénierie inverse

Pour les pièces d'équipement semi-conducteurs en rupture de production, difficiles à trouver ou personnalisées, les clients peuvent nous envoyer:

1. Numéro de pièce d'équipement d'origine
2. Dessin technique
3. Des photos
4. Échantillon utilisé ou nouveau
5. Dimensions critiques
6. Modèle d'équipement
7. Informations relatives à la demande

Notre équipe d'ingénieurs peut évaluer la structure et la faisabilité de fabrication avant de vous proposer un devis.

Pour les pièces fabriquées en remplacement des composants d'équipement existants, la compatibilité finale devrait toujours être confirmée sur la base de la configuration de l'équipement et des spécifications techniques du client.

Contrôle de la qualité

En fonction des exigences du client, l'inspection peut inclure:

• Inspection dimensionnelle
• Inspection de l'OD / de l'ID
• Mesure de l'épaisseur des parois
• Inspection de la longueur
• Inspection de surface
• Inspection des fils
• Inspection du montage
• Inspection des défauts visuels
• Inspection des emballages

Des rapports d'inspection peuvent être fournis selon les exigences du projet.

Quelles informations devriez- vous envoyer pour obtenir un devis?

Pour une citation plus rapide, veuillez indiquer:

• Dessin du produit
• OD de tubes en saphir
• Identifiant du tube saphir
• Longueur du tube
• Épaisseur de paroi
• Finition de surface
• Matériau de boîtier métallique
• Spécifications du fil
• Marque/modèle de l'équipement
• Numéro de pièce OEM, le cas échéant
• Quantité requise
• Environnement d'application ou de processus

Si aucun dessin n'est disponible, veuillez envoyer des photographies claires et un échantillon physique pour évaluation.

Questions fréquentes

À quoi sert un tube applicateur en saphir?

Un tube applicateur en saphir est couramment utilisé dans les équipements de plasma à semi-conducteurs, en particulier dans la génération de plasma, le nettoyage à distance du plasma et les systèmes d'activation des gaz de processus.

Pouvez-vous fabriquer l'ensemble complet du tube applicateur?

En plus des tubes en saphir, des boîtiers en métal, des composants filetés et des assemblages mécaniques peuvent être fabriqués sur mesure selon des dessins ou des échantillons.

Pouvez-vous fabriquer des pièces de rechange pour les équipements semi-conducteurs existants?

Nous soutenons la fabrication basée sur des dessins et des échantillons pour les composants de remplacement des équipements de semi-conducteurs.informations sur l'échantillon et l'équipement à évaluer.

Les dimensions des tubes en saphir peuvent-elles être personnalisées?

Oui, le diamètre extérieur, le diamètre intérieur, la longueur, l'épaisseur de la paroi, la géométrie de l'extrémité du tube et la finition de la surface peuvent tous être personnalisés.

Vous proposez de petites quantités?

Les projets de prototypes, d'entretien et d'équipements semi-conducteurs de petits lots peuvent être évalués en fonction des dimensions requises et de la difficulté de fabrication.