Équipement de liaison des plaquettes Température ambiante Bondin Liaison hydrophile

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April 15, 2025

Catégorie Connexion: Équipement de semi-conducteur

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Dossier: Découvrez l'équipement de collage de plaquettes avancé, conçu pour le collage à température ambiante et hydrophile de plaquettes Si-SiC et Si-Si, de 2 à 12 pouces. Ce système haut de gamme est doté d'un alignement optique de très haute précision, d'un contrôle en boucle fermée de la température/pression et prend en charge divers procédés de collage pour la fabrication de dispositifs à semi-conducteurs de puissance.

Caractéristiques Du Produit Connexes:

Prend en charge la liaison directe et la liaison activée par plasma pour les plaquettes de 2 à 12 pouces.
Alignement optique de très haute précision avec une exactitude ≤±0,5 μm.
Régulation de pression réglable de précision allant de 0 à 10 MPa.
Plage de température de la température ambiante à 500°C avec module de préchauffage/recuit en option.
Environnement sous vide ultra-haut (≤ 5×10−6 Torr) pour une liaison sans contaminant.
IHM tactile de qualité industrielle avec ≥50 recettes de processus stockées.
Triple protection d'interverrouillage pour la sécurité (pression/température/vide).
Prise en charge optionnelle de la manipulation robotisée des plaquettes et du protocole de communication SECS/GEM.

FAQ:

Quels sont les avantages de la liaison à température ambiante par rapport à la liaison thermique?

Le collage à température ambiante prévient les contraintes thermiques et la dégradation des matériaux, permettant le collage direct de matériaux dissemblables (par exemple, SiC-LiNbO₃) sans les limitations liées aux hautes températures.
Quels matériaux peuvent être collés en utilisant la technologie de collage de plaquettes à température ambiante ?

Il prend en charge la liaison de semi-conducteurs (Si, SiC, GaN), d'oxydes (LiNbO3, SiO2) et de métaux (Cu, Au), idéal pour les MEMS, les circuits intégrés 3D et l'intégration optoélectronique.
Pour quelles applications l'équipement de liaison de plaquettes est-il adapté?

Il est idéal pour l'emballage de dispositifs MEMS, les capteurs d'image CIS, l'intégration de circuits intégrés 3D, les dispositifs à semi-conducteurs composés et la fabrication de biochips.

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