Métode PVT du four de croissance à faible consommation d'énergie 6 pouces 8 pouces 12 pouces

Métode PVT du four de croissance à faible consommation d'énergie 6 pouces 8 pouces 12 pouces

Le four de croissance par induction de carbure de silicium est un dispositif permettant de cultiver des cristaux de carbure de silicium (SiC) de haute qualité en utilisant la technologie de chauffage par induction pour fournir un environnement à haute température.Le four de croissance par induction chauffe directement le creuset de graphite et les matières premières grâce au principe de l'induction électromagnétiqueIl possède les caractéristiques de vitesse de chauffage rapide, de contrôle précis de la température et de faible consommation d'énergie, et est l'un des équipements clés pour la préparation de monocristal de carbure de silicium.

Caractéristiques defour à induction de croissance au SiC

· Chauffage à haut rendement: vitesse de chauffage par induction, rendement thermique élevé, faible consommation d'énergie.

· Contrôle précis de la température: la précision du contrôle de la température peut atteindre ±1°C pour assurer la qualité de la croissance des cristaux.

· Haute stabilité: chauffage par induction sans contact, réduction de la pollution, adapté au travail continu à long terme.

• Faible pollution: graphite de haute pureté et atmosphère inerte sont utilisés pour réduire l'influence des impuretés sur la qualité des cristaux.

Spécifications techniques

Avantage de conception

1. répondre à la croissance des cristaux de 6 pouces / 8 pouces;

2. répondre à l'environnement de croissance des cristaux semi-isolés et conducteurs, rotation du creuset pour améliorer l'uniformité de la température, levage de bobine pour réduire les perturbations;

3. une structure à double couche de cylindre de quartz refroidi à l'eau, peut améliorer efficacement la durée de vie de la chambre, fournir un environnement cristallin stable et long, propice à la croissance de cristaux de haute qualité;

4. une surveillance précise en temps réel des températures ascendante et descendante pour faciliter le débogage des processus;

5. mode de fonctionnement de puissance constante, courant constant et température constante en option;

6. un démarrage intelligent à clé, réduire l'intervention manuelle, favorisant la production à grande échelle;

7. le four à longs cristaux à induction de carbure de silicium est adapté à la production de produits uniques de carbure de silicium de six pouces de haute qualité, à la synthèse de matières premières de carbure de silicium de haute pureté,le recuit des cristaux et autres domaines;

8. une conception compacte de la machine en trois dimensions, une disposition pratique, améliorer l'utilisation de l'usine;

9- l'utilisation d'une soupape papillon de haute précision et d'un débitmètre de masse pour contrôler la pression de croissance dans le four, assurant ainsi une atmosphère de croissance stable.la précision maximale de régulation de la pression de ±1Pa peut être atteinte sous la pression de croissance des cristaux.

L'effet defour à induction de croissance au SiC

Le four de croissance par induction de carbure de silicium peut produire efficacement des cristaux simples de carbure de silicium de haute qualité et à faible défectuosité, la pureté du cristal peut atteindre 99,999% ou plus.Ces cristaux simples sont utilisés pour fabriquer des dispositifs de puissance de haute performance (tels que les MOSFET)., diodes de Schottky) et appareils RF avec une résistance à haute tension, une faible perte d'alimentation et des caractéristiques de haute fréquence, améliorant considérablement les performances des véhicules électriques,les onduleurs solaires et les équipements de communication 5G;En outre, la stabilité à haute température et le contrôle précis de la température des fours de croissance par induction assurent la consistance cristalline et le rendement.répondant aux exigences strictes en matière de matériaux de l'industrie des semi-conducteurs.

Le service ZMSH

ZMSH fournit des services de conception, de fabrication, d'installation et de support après-vente pour les fours de croissance par induction au carbure de silicium, y compris la personnalisation des équipements,optimisation des processus et formation techniqueGrâce à une technologie de chauffage par induction avancée et une vaste expérience dans l'industrie, nous assurons une efficacité, une stabilité et une faible consommation d'énergie de nos équipements.tout en fournissant une réponse rapide et un soutien technique 24 heures sur 24, 7 jours sur 7 pour aider les clients à réaliser une production à grande échelle de cristaux de carbure de silicium de haute qualité..