Plaque porteuse à multi-plaquettes SiC Carbure de silicium sintré sans pression pour support de plaquette

Plaque porteuse à multi-plaquettes SiC Carbure de silicium sintré sans pression pour support de plaquette

Compétitivité de base de la ZMSH:

En tant que fournisseur mondial de solutions de matériaux semi-conducteurs en carbure de silicium (SiC),ZMSH a développé des suscepteurs propriétaires à multi-plaquettes SiC tirant parti de la technologie de croissance à cristal unique SiC à ultra-haute pureté et de l'ingénierie de revêtement avancée.Ces suscepteurs répondent aux défis critiques de la fabrication de semi-conducteurs composés, y compris la fissuration par contrainte thermique et la contamination, par:

· Stabilité thermique extrêmement élevée (exploitation au-dessus de 1600°C)
· Contrôle de la conductivité thermique à l'échelle nanométrique (conductivité thermique latérale > 350 W/m·K)
· Surfaces chimiquement inertes (résistance à la corrosion acide/base selon ASTM G31 III)

Validée par des tests de fiabilité de 1 200 heures chez TSMC et Mitsubishi Electric, le produit atteint un rendement de 99,95% pour la production de masse de gaufres de 6 pouces et la qualification de processus de 8 pouces.

Spécification technique:

Principales caractéristiquesPlateau à SiC

1Les innovations matérielles

- Je ne sais pas.SiC à simple cristal de haute puretéCultivé par transport physique de vapeur (PVT) avec boron (B) dopé < 5×1015 cm−3, teneur en oxygène (O) < 100 ppm et densité de dislocation < 103 cm−2,pour assurer un coefficient de dilatation thermique (CTE) correspondant aux plaquettes SiC (Δα=0).8×10−6/K).

- Je ne sais pas.Couches nanostructurées:Le dépôt de vapeur chimique amélioré par plasma (PECVD) des revêtements TiAlN de 200 nm (dureté 30GPa, coefficient de frottement <0,15) minimise les rayures des plaquettes.

2. Gestion thermique

- Je ne sais pas.Conductivité thermique du gradient:Les composites SiC/SiC multicouches atteignent une uniformité de température de ± 0,5 °C sur les supports de 8 pouces.

- Je ne sais pas.Résistance aux chocs thermiques:Survit à 1 000 cycles thermiques (ΔT = 1500 °C) sans fissuration, dépassant les supports de graphite de 5 fois la durée de vie.

Je suis désolée.3Compatibilité des procédés

- Je ne sais pas.Prise en charge de plusieurs processusCompatible avec le MOCVD, le CVD et l'épitaxy à 600 ‰ 1600 °C et 1 ‰ 1000 mbar.

- Je ne sais pas.Flexibilité de la taille de la gaufre:Prend en charge les plaquettes de 2 ′′12 pouces pour les hétérostructures GaN-sur-SiC et SiC-sur-SiC.

Principales applications dePlateau à SiC

Je suis désolée.

1- Fabrication de semi-conducteurs composés

· Les appareils GaN:Permet une croissance épitaxielle du MOSFET de 2,5 kV sur des plaquettes GaN-sur-SiC de 4 pouces à 1200 °C, atteignant une densité de défaut <5 × 104 cm−2.

· Appareils de radiofréquence SiC:Prend en charge l'hétéroépitaxie 4H-SiC sur SiC pour les HEMT avec une transconductivité de 220 mS/mm et une fréquence de coupure de 1,2 THz.

2. photovoltaïque et LED

· Les couches de passivation HJT:Réalise des défauts d'interface < 1 × 106 cm−2 dans le MOCVD, augmentant l'efficacité des cellules solaires à 26%.

· Transfert par micro-LED:Permet un rendement de transfert de 99,5% pour les LED de 5 μm utilisant un alignement électrostatique à 150 °C.

Je suis désolée.3- Aérospatiale et nucléaire

· Détecteurs de rayonnement:Produit des plaquettes CdZnTe avec une résolution d'énergie FWHM de 3 keV pour les missions spatiales profondes de la NASA.

· Sceaux de contrôle:Les supports revêtus de SiC résistent à 1×1019 n/cm2 d'irradiation neutronique pendant 40 ans de vie du réacteur.

Produits photos dePlateau à SiC

ZMSH fournit des solutions techniques de bout en bout, couvrant la R&D des matériaux, l'optimisation des processus et le support de la production de masse.001 mm) et technologies de traitement de surface à l'échelle nanométrique (Ra < 5 nm), nous fournissons des solutions de support au niveau des plaquettes pour les secteurs des semi-conducteurs, de l'optoélectronique et des énergies renouvelables, assurant un rendement et une fiabilité des performances de 99,95%.