Composant optique à miroir SiC à haute pureté poli à double face pour micro-miroir MEMS

1Ultra-léger et miniaturisé:

• La conception compacte (par exemple, diamètre de 20 ‰ 50 mm) combinée à la faible densité de SiC ‰ (~ 3,1 g / cm3) permet d'obtenir un poids extrêmement léger et une structure compacte,ce qui le rend idéal pour les équipements intégrés sensibles à l'espace et au poids.

2Stabilité et résistance à l' environnement:

• Le faible coefficient de dilatation thermique (~4.5×10−6/°C) et un modul élastique élevé (> 400 GPa) assurent une stabilité dimensionnelle et superficielle exceptionnelle en cas de fluctuations de température et de vibrations mécaniques, avec une forte résistance à la déformation.

3Excellente gestion thermique:

• Une conductivité thermique élevée (~ 120 ∼ 200 W/m·K) facilite une dissipation de chaleur rapide et uniforme,prévenir les points chauds locaux et assurer la stabilité des performances et la fiabilité des systèmes optiques dans des conditions de haute température ou de haute puissance.

4. Qualité de surface optique de premier ordre:

• Grâce à la technologie de polissage à double face, il atteint une douceur de surface à l' échelle nanométrique (Ra ≤ 0,5 nm) des deux côtés et une planéité / parallélisme ultra-haute,minimiser la diffusion et la perte de lumière tout en assurant une qualité d'image élevée.

5Durabilité et inerté chimique:

• La haute dureté (Mohs 9.5) fournit une résistance à l'usure et aux rayures, et la résistance aux acides, aux alcalis et à l'érosion du plasma garantit des performances à long terme dans des environnements difficiles, prolongeant la durée de vie.

Je suis désolée.

Systèmes optiques pour lunettes AR/MR:

Comme lentilles, prismes ou réflecteurs à ondes diffractives pour guider et afficher les voies lumineuses.Les lunettes minces et de petite taille sont essentielles pour réaliser une conception mince., grand champ de vision (FOV), et élimination des motifs arc-en-ciel.

• Équipement de lithographie et d' inspection de précision par semi-conducteurs:

En tant que réflecteurs ou substrats de lentilles dans les systèmes d' illumination des machines de lithographie ou des capteurs des équipements d' inspection des plaquettes.Leur haute stabilité thermique et leur planéité sont cruciales pour maintenir la précision des superpositions à l'échelle nanométrique et la précision de l'inspection..

• Systèmes optiques laser haut de gamme

Utilisés dans les galvanomètres laser, les interféromètres laser ou comme réflecteurs/miroirs de fenêtre dans les lasers à haute puissance.La direction et la stabilité du faisceau laser assurent une direction précise et un fonctionnement stable du système à long terme..

• MEMS et champs de micro-optique:

En tant que matériau de substrat pour les micromirrors MEMS ou de substrat pour les dispositifs micro-optiques, utilisés dans le LiDAR, les projecteurs, etc., répondant à des exigences strictes en matière de réponse à haute fréquence,haute stabilité, et la miniaturisation.

Produits en céramique SiC de ZMSH

2SiC céramique sous vide Chuck Flip-chip liant le miroir polissage haute rigidité