| Nom De Marque: | zmsh |
Les plaquettes SiC de type HPSI (carbure de silicium semi-isolant de haute pureté) sont des matériaux optiques essentiels dans les verres IA et AR. Avec un indice de réfraction élevé (2,6 - 2,2).7 @ 400 - 800 nm) et des caractéristiques d'absorption optique faibles, ils s'attaquent efficacement à des problèmes tels que les "effets arc-en-ciel" et l'insuffisance de la transmission lumineuse courants dans les matériaux traditionnels en verre ou en résine utilisés pour les guides d'ondes AR.Les lunettes AR Orion de Meta utilisent des lentilles à guide d'onde HPSI SiC, permettant d'atteindre un champ de vision ultra large (FOV) de 70° - 80° avec une lentille monocouche d'une épaisseur de seulement 0,55 mm et un poids de 2,7 g, ce qui améliore considérablement le confort de port et l'immersion.
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| Paramètre | Grade | Substrate de 4 pouces | Substrate de 6 pouces |
|---|---|---|---|
| Diamètre | Grade Z / Grade D | 99.5 mm - 100.0 mm | 149.5 mm - 150,0 mm |
| de type poly | Grade Z / Grade D | 4 heures | 4 heures |
| Épaisseur | Grade Z | 500 μm ± 15 μm | 500 μm ± 15 μm |
| Grade D | 500 μm ± 25 μm | 500 μm ± 25 μm | |
| Orientation de la gaufre | Grade Z / Grade D | Sur l'axe: <0001> ± 0,5° | Sur l'axe: <0001> ± 0,5° |
| Densité des micropipes | Grade Z | ≤ 1 cm2 | ≤ 1 cm2 |
| Grade D | ≤ 15 cm2 | ≤ 15 cm2 | |
| Résistance | Grade Z | ≥ 1E10 Ω·cm | ≥ 1E10 Ω·cm |
| Grade D | ≥ 1E5 Ω·cm | ≥ 1E5 Ω·cm | |
| L'orientation principale est plate | Grade Z / Grade D | (10 à 10) ± 5,0° | (10 à 10) ± 5,0° |
| Longueur plate primaire | Grade Z / Grade D | 32.5 mm ± 2,0 mm | Encastrement |
| Longueur plate secondaire | Grade Z / Grade D | 18.0 mm ± 2,0 mm | - |
| Exclusion des bords | Grade Z / Grade D | 3 mm | 3 mm |
| LTV / TTV / Bow / Warp | Grade Z | ≤ 2,5 μm / ≤ 5 μm / ≤ 15 μm / ≤ 30 μm | Le nombre d'échantillons est calculé en fonction de l'échantillonnage de l'échantillon |
| Grade D | Le nombre d'étoiles est déterminé en fonction de l'échantillon. | ≤ 5 μm / ≤ 15 μm / ≤ 40 μm / ≤ 80 μm | |
| Roughness (graisseuse) | Grade Z | Ra polonais ≤ 1 nm / CMP Ra ≤ 0,2 nm | Ra polonais ≤ 1 nm / CMP Ra ≤ 0,2 nm |
| Grade D | Ra polonais ≤ 1 nm / CMP Ra ≤ 0,2 nm | Ra polonais ≤ 1 nm / CMP Ra ≤ 0,5 nm | |
| Fractures du bord | Grade D | Surface cumulée ≤ 0,1% | Longueur cumulée ≤ 20 mm, simple ≤ 2 mm |
| Zones de polytypes | Grade D | Surface cumulée ≤ 0,3% | Surface cumulée ≤ 3% |
| Inclusions de carbone visuel | Grade Z | Surface cumulée ≤ 0,05% | Surface cumulée ≤ 0,05% |
| Grade D | Surface cumulée ≤ 0,3% | Surface cumulée ≤ 3% | |
| Des rayures sur la surface du silicium | Grade D | 5 permis, chacun ≤ 1 mm | Longueur cumulée ≤ 1 x diamètre |
| Les puces de bord | Grade Z | Aucun n'est autorisé (largeur et profondeur ≥ 0,2 mm) | Aucun n'est autorisé (largeur et profondeur ≥ 0,2 mm) |
| Grade D | 7 permis, chacun ≤ 1 mm | 7 permis, chacun ≤ 1 mm | |
| Dislocation de vis de filetage | Grade Z | - | ≤ 500 cm2 |
| Emballage | Grade Z / Grade D | Cassette à plaquettes multiples ou récipient à plaquette unique | Cassette à plaquettes multiples ou récipient à plaquette unique |
En tant qu'entité de fabrication et de commerce intégrée, ZMSH fournit des solutions de bout en bout pour les produits SiC:
Les fours de croissance de cristaux internes produisent des plaquettes de type 4H-N, 4H-HPSI, 6H-P et 3C-N (2 à 12 pouces), avec des paramètres personnalisables (par exemple, concentration de dopage, résistance à la flexion).
Q1: Pourquoi la plaque HPSI SiC est-elle essentielle pour les lunettes AR?
A1: L'indice de réfraction élevé de la plaque HPSI SiC (2,6 - 2,7) et la faible absorption optique éliminent les effets arc-en-ciel dans les écrans AR tout en permettant des guides d'ondes ultra-minces (par exemple, les lentilles de 0,55 mm de Meta Orion).
Q2: En quoi le HPSI SiC diffère-t-il du verre traditionnel dans l'optique AR?
A2: HPSI SiC offre deux fois l'indice de réfraction du verre (~ 2,0), ce qui permet une FOV plus large et des guides d'onde à couche unique, plus une conductivité thermique de 490 W/m·K pour gérer la chaleur des micro-LED.
Q3: Le SiC HPSI est-il compatible avec d'autres matériaux semi-conducteurs?
R3: Oui, il s'intègre avec le GaN et le silicium dans les systèmes hybrides, mais sa stabilité thermique et ses propriétés diélectriques le rendent supérieur pour les optiques AR à haute puissance.
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