Machine de revêtement au SiC pour déposer des plaquettes et des matériaux en graphite

Machine de revêtement SiC – Dépôt adhésif précis pour plaquettes et matériaux en graphite

Aperçu du produit

La machine de revêtement SiC est un système autonome entièrement automatisé et programmable, conçu pour le dépôt adhésif précis entre les plaquettes, les germes SiC, le papier graphite et les plaques de graphite.

Elle assure une épaisseur de revêtement contrôlée et uniforme, empêchant l'accumulation locale ou les zones minces, et fournit une base stable pour le dégazage sous vide et le frittage à haute température ultérieurs.

Idéal pour la production à l'échelle pilote ou en lots moyens à grands, le système prend en charge une grande répétabilité et une qualité de revêtement constante.

Principales caractéristiques

• Revêtement précis : L'épaisseur d'adhésif contrôlée assure un dépôt uniforme entre les plaquettes, le papier graphite et les plaques de graphite.

• Large compatibilité : Fonctionne avec des adhésifs contenant des particules solides, prenant en charge une large gamme de formulations.

• Fonctionnement automatisé : Contrôle autonome programmable avec mouvement XYZ coordonné ; adapté à la production en lots ou à l'échelle pilote.

• Pré-traitement stable : Fournit une base fiable pour le dégazage sous vide et le frittage à haute température ultérieurs.

• Haute répétabilité : Assure un revêtement constant sur tous les lots, améliorant le rendement et la stabilité du processus.

Spécifications

Applications typiques

• Semi-conducteurs et croissance cristalline SiC : Collage de germes, préparation de plaquettes

• Revêtements conducteurs et fonctionnels : SiC, flux, revêtements photorésistants

• Substrats flexibles et séparateurs de batterie : Gère les solutions adhésives contenant des solides

• Verre et matériaux photovoltaïques : Revêtement uniforme entre les plaques et le papier graphite

FAQ – Questions fréquemment posées

Q1 : La machine peut-elle traiter des adhésifs contenant des solides ?
R1 : Oui. La machine utilise une distribution à débit constant de haute précision avec dispersion en ligne, assurant une pulvérisation uniforme des adhésifs contenant des solides sans colmatage de la buse.

Q2 : Quelle est la précision du contrôle de l'épaisseur du revêtement ?
R2 : L'épaisseur du revêtement varie de 20 nm à des dizaines de microns, avec un contrôle précis pour l'uniformité et la répétabilité.

Q3 : Quels types de substrats sont pris en charge ?
R3 : Plaquettes, germes SiC, papier graphite et plaques de graphite, y compris les substrats flexibles avec chauffage assisté par le vide.

Q4 : La machine peut-elle être utilisée pour la production en lots ?
R4 : Oui. Le contrôle programmable de l'axe XYZ prend en charge la production à l'échelle pilote à moyenne et grande échelle, avec un fonctionnement parallèle multi-buses.

Q5 : Comment l'uniformité du revêtement est-elle assurée ?
R5 : L'alignement laser, la distribution à débit constant, la synchronisation multi-buses et la technologie des buses ultrasoniques garantissent une uniformité > 95 %.

Q6 : La maintenance de la machine est-elle compliquée ?
R6 : Non. La machine est équipée de buses autonettoyantes, de recyclage des liquides usagés et de systèmes d'échappement, ce qui minimise les besoins de maintenance.