La scie multi-fil de précision pour la découpe de plaquettes de semi-conducteurs est un système de tranchage industriel développé pour les applications nécessitant un mouvement de fil contrôlé, une tension stable, une alimentation de précision, une découpe en fines sections et une rigidité constante de la machine.

L'équipement intègre l'alimentation et le rembobinage du fil, le déplacement du fil, le contrôle de la tension, les roues de guidage, l'entraînement du rouleau principal, l'alimentation de la pièce, la circulation de la boue, l'échange de chaleur et le contrôle électrique sur une seule plateforme machine. La documentation fournie identifie son application industrielle prévue comme le tranchage de plaquettes de semi-conducteurs.

Avec une vitesse de fil maximale spécifiée de 2200 m/min, une plage de diamètres de fil pris en charge de 0,014 à 0,10 mm, une tension réglable de 0 à 15 N et une vitesse d'avance de coupe variable de 0,01 à 5 mm/min, le système offre une plateforme flexible pour les processus de tranchage de plaquettes à fil fin.

Cette machine peut être envisagée pour les lignes de production de semi-conducteurs, la production pilote, les installations de traitement de matériaux et les environnements de recherche où la précision du tranchage, la stabilité du fil et la répétabilité de l'équipement sont importantes.

Avantages principaux

Fonctionnement à haute vitesse du fil

La machine prend en charge une vitesse de fil maximale de :

2200 m/min

Une vitesse de fil élevée est particulièrement importante lorsque des fils plus fins sont utilisés, car la force de coupe et la stabilité du processus doivent toujours être maintenues à mesure que le diamètre du fil diminue.

La plage de diamètres de fil disponible est :

0,014 mm à 0,10 mm

Cela permet aux utilisateurs de sélectionner les spécifications du fil en fonction du processus de tranchage cible.

Tension de fil réglable

La tension du fil peut être contrôlée de :

0-15 N

Le bras de tension est utilisé pour maintenir le fil d'acier à la tension sélectionnée pendant le fonctionnement. Selon la configuration de la machine, le système de contrôle de la tension est entraîné par moteur et peut être ajusté en fonction des exigences du processus.

Une tension stable est l'une des conditions mécaniques clés pour maintenir un mouvement de fil prévisible pendant le tranchage de plaquettes.

Contrôle d'alimentation de précision

La machine utilise une unité d'alimentation contrôlée avec une course maximale d'environ :

220 mm

Vitesse d'avance de coupe :

0,01-5 mm/min

Vitesse d'avance rapide :

200 mm/min

La pièce est fixée à l'unité d'alimentation et déplacée à travers la zone de coupe selon les paramètres de processus sélectionnés.

Capacité de traitement

L'enveloppe de traitement standard spécifiée pour l'équipement est :

Le système prend également en charge le chargement combiné de pièces selon la configuration technique d'origine.

Spécifications techniques

Ces paramètres sont tirés de la configuration de l'équipement fourni.

Système intégré de gestion du fil

La machine comprend plusieurs sous-systèmes coordonnés responsables du contrôle du mouvement du fil.

Unité de bobinage du fil

L'unité de bobinage contient la bobine de fil neuve et la bobine réceptrice. Elle est responsable de l'alimentation et du stockage du fil d'acier pendant le fonctionnement de la machine.

Unité de déplacement du fil

Le mécanisme de déplacement aide le fil à se dérouler en douceur et à se rembobiner uniformément.

Bras de tension

L'unité de tension maintient le fil à une tension contrôlée pendant le tranchage.

Roues de guidage

Les roues de guidage sont utilisées pour diriger le fil et supporter un déplacement stable du fil.

Unité de broche principale

La section de la broche principale effectue l'opération de tranchage réelle entre les rouleaux.

Unité d'alimentation

La pièce est fixée au système d'alimentation et déplacée à une vitesse programmée pendant la coupe.

Ces unités sont décrites comme les principaux composants du système machine global.

Système de boue et de refroidissement

La machine de coupe est équipée d'un système de circulation de boue avec une capacité de réservoir de :

300 L

Le réservoir de boue fournit le liquide de refroidissement et de coupe pendant le traitement.

Un échangeur de chaleur est utilisé pour contrôler la température du liquide de coupe grâce à un refroidissement externe par eau. Les exigences spécifiées pour l'eau de refroidissement comprennent :

Le circuit d'eau de refroidissement utilise une isolation pour réduire la condensation.

Structure de machine rigide

Le carter de la machine utilise une structure en acier à haute résistance, tandis que la base utilise une construction moulée intégrée pour améliorer la rigidité globale.

L'équipement est également conçu avec un plateau sous la machine pour réduire la possibilité de fuite de liquide de coupe directement sur le sol d'installation.

Un dispositif de sécurité pneumatique est installé dans la partie supérieure de l'équipement pour améliorer la sécurité et la stabilité de la plateforme élévatrice.

Architecture à entraînement direct

Le système d'entraînement utilise un couplage direct.

Selon la spécification de l'équipement fourni, les principaux avantages de la structure à entraînement direct comprennent :

• Bruit de fonctionnement réduit
• Consommation réduite de pièces d'usure
• Précision d'entraînement plus élevée

Les rouleaux principaux sont également entraînés individuellement par moteur. Cette conception vise à réduire la charge transférée du fil aux rouleaux et à réduire l'usure des rainures des rouleaux et la consommation de fil.

Espacement compact des rouleaux

L'espacement des axes de rouleaux documenté est d'environ :

270 mm

L'espacement plus court est conçu pour réduire la distance entre les rouleaux principaux et ainsi améliorer les conditions de coupe.

Selon la documentation technique d'origine, cette conception vise à améliorer le rendement de coupe tout en réduisant le temps de traitement et la consommation de fil.

Surveillance de la rupture du fil

La rupture du fil est un risque de processus important lors du tranchage de plaquettes.

L'équipement comprend la détection de rupture de fil dans le cadre de sa configuration technique standard.

La machine utilise également une surveillance d'alarme de rupture des deux côtés pour améliorer la sensibilité de détection de rupture. Son système de contrôle intègre une protection destinée à réduire la rupture du fil lors d'une interruption de courant inattendue.

Précision mécanique

La spécification d'acceptation de la machine comprend plusieurs paramètres d'inspection mécanique importants :

Ces valeurs définissent les exigences d'acceptation au niveau de la machine documentées.

Capacité de découpe de plaquettes fines

La documentation de l'équipement indique :

Précision de coupe : ±0,01 mm

et

Épaisseur minimale de tranchage :<0,05 mm

L'épaisseur exacte réalisable en production dépendra de la pièce, des spécifications du fil, de la recette du processus, du fluide de coupe, de la méthode de manipulation et du rendement requis.

Pour les projets de plaquettes très fines, les clients doivent fournir l'épaisseur cible et la tolérance avant que la configuration de l'équipement ne soit finalisée.

Exigences électriques et d'installation

Alimentation machine standard :

CA triphasé à quatre fils 380 V ±10%, 50/60 Hz

La documentation technique spécifie l'installation d'un câble en cuivre de 16 mm² ou plus.

La consommation d'énergie de la machine référencée est d'environ :

5 kWh

La consommation réelle peut varier en fonction des conditions de fonctionnement et des systèmes auxiliaires.

Environnement d'installation recommandé

Les conditions environnementales recommandées comprennent :

La spécification de la machine confirme également la prise en charge d'une capacité de stockage de fil maximale supérieure à 100 km lors de l'utilisation d'un fil de Ø0,03 mm, de six roues de guidage, d'un réservoir de boue de 300 L et d'un serrage hydraulique de la pièce.

Application

L'application documentée de cet équipement est :

Tranchage de plaquettes de semi-conducteurs.

Les projets clients typiques peuvent impliquer différents diamètres de plaquettes, épaisseurs cibles et exigences de production.

Étant donné que le comportement de coupe varie considérablement selon les matériaux, les clients prévoyant de traiter différents matériaux semi-conducteurs ou durs et cassants doivent fournir les informations sur le matériau à ZMSH pour évaluation du processus avant de confirmer la configuration finale de la machine.

Configuration d'équipement personnalisée

Différents projets de plaquettes de semi-conducteurs peuvent nécessiter des :

• Diamètre du fil
• Tension du fil
• Vitesse d'avance
• Fixation de la pièce
• Conditions de refroidissement
• Configuration de la boue
• Interface de communication
• Capacité de production

Les configurations optionnelles listées dans la documentation de l'équipement comprennent la communication SECS II, l'équipement de refroidissement et le contrôle de la température de serrage de la pièce.

ZMSH peut donc évaluer la configuration de l'équipement en fonction des exigences du processus du client.

Informations RFQ

Pour un devis ou une évaluation technique, veuillez fournir :

1. Matériau
2. Dimensions de la pièce
3. Dimensions de plaquette requises
4. Épaisseur de plaquette cible
5. Tolérance d'épaisseur
6. Quantité par lot
7. Capacité mensuelle ou quotidienne
8. Spécification du fil, si déjà définie
9. Précision de coupe requise
10. Conditions de l'eau de refroidissement
11. Alimentation électrique de l'usine
12. Fonctions optionnelles requises

La fourniture de ces détails permet de déterminer la configuration appropriée de la machine et du processus.

FAQ

Quelle est la vitesse maximale du fil de coupe ?

La vitesse de fil maximale spécifiée est de 2200 m/min.

Quel diamètre de fil la machine peut-elle utiliser ?

La plage de diamètres de fil spécifiée est de 0,014 à 0,10 mm.

Jusqu'à quelle épaisseur la machine peut-elle trancher ?

La documentation de l'équipement indique que des épaisseurs de tranchage inférieures à 0,05 mm sont possibles dans les conditions de fonctionnement pertinentes.