Plaque d'aspiration sous vide à quartz fondu sur mesure pour la manipulation des plaquettes de semi-conducteurs

Plaque d'aspiration sous vide à quartz fondu sur mesure pour la manipulation des plaquettes de semi-conducteurs

La plaque d'aspiration à vide de quartz fondue sur mesure, également connue sous le nom de chuck à vide de quartz, disque d'aspiration de quartz ou support de gaufre de quartz, est utilisée pour supporter, positionner,et contenant des plaquettes ou des substrats de précision par adsorption sous vide contrôlée.

Fabriqué à partir de quartz fondu de haute pureté, le composant combine une faible expansion thermique, une excellente résistance chimique, une stabilité à haute température et un faible potentiel de contamination.Il convient pour les semi-conducteurs, photovoltaïque, optique, de laboratoire et autres environnements de traitement de haute pureté.

La plaque peut être fabriquée avec des canaux de vide personnalisés, des ouvertures centrales, des tubes de quartz, des ports, des interfaces à étages et des structures de connexion soudées.Les dimensions et les conditions de surface sont produites selon les exigences de conception et de fonctionnement de l'équipement du client..

Principales caractéristiques

Quartz fondu de haute pureté

Fabriqué à partir de silice fondue de haute qualité avec de faibles niveaux d'impuretés métalliques, ce qui aide à minimiser la contamination lors de la manipulation des plaquettes et du traitement du substrat.

Faible expansion thermique

Le faible coefficient de dilatation thermique aide la plaque à maintenir sa stabilité dimensionnelle lorsqu'elle est exposée à des changements de température.

Résistance chimique

Le quartz fondu offre une excellente résistance à de nombreux acides et produits chimiques utilisés dans les milieux de semi-conducteurs et de laboratoire.et les supports de processus spécifiques doivent être évalués séparément.

Structure de vide personnalisée

Les ports sous vide, les ouvertures centrales, les connexions de gaz, les ports de transfert de liquide, les rainures et les tubes de quartz soudés peuvent être conçus en fonction de la disposition de l'équipement.

Traitement de surface de précision

Des options de meulage, de polissage mécanique, de polissage au feu, de lapage et de nettoyage sont disponibles pour répondre à différentes exigences en matière de planéité, d'étanchéité, de propreté et d'état de la surface.

Fabrication basée sur le dessin

Chaque plaque d'aspiration à vide au quartz peut être fabriquée à partir d'un dessin technique, d'un échantillon physique, des dimensions de l'équipement ou des spécifications d'application.

Spécifications du produit

Les dimensions maximales, les tolérances réalisables, les conditions thermiques, le niveau de vide et les limites de pression doivent être évaluées en fonction de la conception finale et de l'environnement de fonctionnement.

Applications typiques

• Équipement de manutention des plaquettes à semi-conducteurs
• Adsorption sous vide et positionnement des plaquettes
• Systèmes d'alignement de substrat de précision
• Chambres de traitement et systèmes de réaction au quartz
• Bancs et équipements de traitement chimique
• Traitement des plaquettes photovoltaïques et des cellules solaires
• Traitement du verre et du substrat optique
• Systèmes à vide de laboratoire
• Équipement chimique de haute pureté
• Assemblages de quartz à semi-conducteurs sur mesure

Options de conception personnalisées

La plaque de vide au quartz peut être personnalisée avec:

• Des trous ou des ouvertures en retrait
• Ports d'aspiration sous vide multiples
• Rigoles et canaux de distribution du vide
• Tubes et connecteurs en quartz soudés
• Portes droites, inclinées ou à marches
• Les connexions de flanges en quartz
• Modèles de trous sur mesure
• Surfaces locales polies ou mates
• D'une épaisseur n'excédant
• Trous de positionnement ou éléments d'alignement
• Conditions de surface transparente, translucide ou mate

La géométrie du canal de vide et la répartition des trous d'aspiration doivent être conçues en fonction de la taille de la plaque, de l'épaisseur du substrat, de la force de maintien requise et de la surface de contact admissible.

Capacité de fabrication

Nous fournissons des services intégrés de fabrication de quartz, y compris:

• Fabrication de tôles de quartz fondu de grand diamètre
• Machinerie CNC de précision
• Perçage de trous et découpe de profilés
• Machinerie à vide pour les rainures et les canaux
• Soudures de tubes et de ports au quartz
• Fabrication de brides de quartz
• Détection des déchets, détection des déchets
• Décapage et arrondissement des bords
• Rechauffement thermique
• Nettoyage par ultrasons et haute pureté
• Inspection dimensionnelle et visuelle

Des dispositions d'ouverture complexes, des ports soudés et des structures de connexion sur mesure peuvent être fabriqués selon des dessins techniques détaillés.

Avantages des plaques sous vide au quartz fondu

Comparé aux composants métalliques, en plastique ou en verre classiques, le quartz fondu offre plusieurs avantages pour le traitement de haute pureté:

• Faible risque de contamination métallique
• Excellente stabilité thermique
• Faible coefficient de dilatation thermique
• Bonne résistance à de nombreux produits chimiques de traitement
• Convient pour les applications de salle blanche et de haute pureté
• Construction transparente ou translucide pour l'observation des processus
• Stabilité dimensionnelle élevée dans des conditions de fonctionnement contrôlées
• Ports, ouvertures, rainures et structures de connexion personnalisables

L'adéquation du quartz fondu doit être confirmée selon la charge mécanique requise, le niveau de vide, les conditions de cycle thermique et l'environnement chimique.

Informations requises pour la soumission

Veuillez fournir les informations suivantes pour l'évaluation technique et le devis:

1. Diamètre global ou dimensions extérieures
2. Épaisseur de la plaque
3. Dimensions de l'ouverture centrale
4. Quantité, diamètre et position des ports sous vide
5. Disposition de la rainure sous vide ou du canal
6. Dimensions du port, du tube ou de la bride de connexion
7. Exigences relatives à la finition de surface
8. Tolérances de planéité et de dimension
9. Température de fonctionnement et conditions du cycle thermique
10. Niveau de vide ou pression de fonctionnement
11. Produits chimiques ou gaz de procédé en contact avec le composant
12. Quantité requise
13. Dessin technique, échantillon physique ou photographie de l'équipement

Un dessin dimensionné est recommandé pour les composants nécessitant un positionnement précis des ports, une géométrie des canaux de vide ou des tolérances d'assemblage serrées.

Inspection de la qualité

En fonction du dessin et de l'application, chaque plaque d'aspiration en quartz peut être inspectée pour:

• Diamètre et épaisseur globaux
• Dimensions d'ouverture et de port
• Précision de la position du port
• Plaineté et parallélisme
• Condition de la surface
• Géométrie des rainures sous vide
• Intégrité de la soudure
• Qualité des bords
• Fractures, fissures, rayures et autres défauts de la vue
• La propreté
• Protection des emballages

Chaque composant est protégé individuellement par une mousse, un film ou un emballage personnalisé pour réduire le risque de rayures, d'impacts et de ruptures pendant le transport.

Questions fréquentes

1Le diamètre de la plaque et la position du port de vide peuvent-ils être personnalisés?

Le diamètre, l'épaisseur, les dimensions d'ouverture, la quantité de port, la taille du port, la disposition des rainures et la position du port peuvent être fabriqués selon votre dessin.

2Pouvez-vous fabriquer la plaque d'aspiration à partir d'un échantillon physique?

Oui, nous pouvons évaluer et reproduire un composant à partir d'un échantillon physique, mais un dessin technique dimensionné est recommandé lorsque des tolérances précises ou des positions de port sont requises.

3- Des rainures sous vide ou des canaux peuvent-ils être usinés dans la plaque de quartz?

Des rainures, des canaux, des zones encastrées et des motifs de trous d'aspiration peuvent être usinés selon la distribution de vide et la conception de contact du substrat requises.

4Quelles sont les finitions de surface disponibles?

Les finitions disponibles comprennent les surfaces moulues, mates, lapées, polies mécaniquement et polies au feu.et la propreté.

5Le quartz fondu est-il adapté aux équipements à semi-conducteurs?

Le quartz fondu est largement utilisé dans les équipements semi-conducteurs en raison de sa pureté élevée, de sa stabilité thermique, de sa durabilité chimique et de son faible risque de contamination métallique.

6Les tubes de quartz ou les ports de connexion peuvent-ils être soudés sur la plaque?

Des tubes de quartz, des ports sous vide, des joints et des structures de brides peuvent être soudés sur la plaque selon la conception de connexion gaz, vide ou liquide requise.

7Pouvez-vous garantir une tolérance de planéité spécifique?

La capacité de planéité dépend du diamètre de la plaque, de son épaisseur, de la disposition de l'ouverture, des structures soudées et de la finition de la surface.

8La plaque peut-elle être utilisée sous pression positive?

Le produit est principalement destiné à l'adsorption et au positionnement sous vide.et les conditions de sécurité.